[發明專利]用于聚焦激光束的消色差消像散變形投影物鏡有效
| 申請號： | 201780044891.2 | 申請日： | 2017-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN110036327B | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 孟磊;M·W·文斯 | 申請（專利權）人： | 相干公司 |
| 主分類號： | G02B9/16 | 分類號： | G02B9/16;G02B13/00;G02B27/09;G01N15/14;A61B18/20;G02B13/08 |
| 代理公司： | 余姚德盛專利代理事務所(普通合伙) 33239 | 代理人： | 鄭洪成 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 聚焦 激光束 色差 消像散 變形 投影 物鏡 | ||
1.用于將激光輻射的輸入光束聚焦在焦平面中的物鏡，包括：
在光束的傳播方向上按連續的數字順序排列的第一、第二和第三光學元件；
所述第一光學元件是具有焦距fCL1的單重圓柱形元件；
所述第二光學元件是具有焦距fCL2的單重圓柱形元件；
所述第三光學元件是具有焦距fFFL的單重旋轉對稱元件；并且
其中fCL1，fCL2和fFFL通過以下等式相關
fCL1 - fCL2 = G * fFFL
其中G為0.7至1.4。
2.如權利要求1所述的物鏡，其中G為0.9至1.1。
3.如權利要求1所述的物鏡，其中所述第三光學元件是球形元件。
4.如權利要求1所述的物鏡，其中每個光學透鏡元件具有平面表面和彎曲表面。
5.如權利要求4所述的物鏡，其中每個所述光學元件的彎曲表面是該元件在光束傳播方向上的第一表面。
6.如權利要求1所述的物鏡，所述第一、第二和第三光學元件由相同的材料制成。
7.如權利要求6所述的物鏡，其中所述光學元件由熔融硅石制成。
8.如權利要求6所述的物鏡，其中所述光學元件由N-BK7玻璃制成。
9.如權利要求1所述的物鏡，其中至少一個所述光學元件由第一材料制成，而其他光學元件由第二材料制成。
10.如權利要求9所述的物鏡，其中所述第一和第二光學元件由N-BK7玻璃制成，并且所述第三光學元件由熔融硅石制成。
11.如權利要求1所述的物鏡，其中fCL1和fFFL是正的而fCL2是負的。
12.如權利要求1所述的物鏡，其中fCL1，fCL2和fFFL是正的。
13.光學裝置，包括：
至少第一、第二、第三和第四激光器分別以第一、第二、第三和第四波長分別輸送第一、第二、第三和第四分量激光束；
光束組合器，被布置用于將第一、第二、第三和第四分量激光束組合成組合光束；以及
物鏡，僅包括三個單重光學元件，所述單重光學元件被布置成用于接收組合的激光束并聚焦組合的激光束，使得其分量激光束全部聚焦在共同的焦平面上；
其中，所述三個單重光學元件包括在組合光束的傳播方向上順序排列的具有焦距fCL1的第一圓柱形元件、具有焦距fCL2的第二圓柱形元件以及具有焦距fFFL的球形元件，并且
其中fCL1，f CL2和fFFL通過以下等式相關
fCL1 - fCL2 = G * fFFL
其中G為0.7至1.4。
14.如權利要求13所述的裝置，其中所述第一、第二、第三和第四波長分別為405nm、488、561nm和637nm。
15.如權利要求13所述的裝置，其中G為0.9至1.1。
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