[發明專利]用于實體自由成形制造的多腔室沉積設備

有效

• 申請號: 201780042213.2
• 申請日: 2017-03-17
• 公開（公告）號: CN109689251B
• 公開（公告）日: 2021-10-08
• 發明（設計）人: 特龍·福塞思;布雷德·維格達爾;阿爾內·拉姆斯蘭;斯韋恩·斯泰因斯維克;約爾延·豪根
• 申請（專利權）人: 挪威鈦公司
• 主分類號: B22F3/105
• 分類號: B22F3/105
• 代理公司: 北京康信知識產權代理有限責任公司 11240
• 代理人: 陳鵬;王博

1.一種用于實體自由成形制造的腔室系統，包括：

一個或多個獨立控制的裝載/卸載腔室；

獨立控制的沉積腔室，所述沉積腔室包括沉積設備和用于控制基材的位置和移動的致動器；

一個或多個門，所述門使所述沉積腔室與一個或多個所述裝載/卸載腔室中的每一個腔室連接；以及

獨立控制的維修腔室，連接到所述沉積腔室，所述維修腔室的尺寸設計成容納所述沉積設備，所述維修腔室與所述沉積腔室、所述沉積設備以及到達所述沉積設備的送絲對齊，使得所述沉積設備能在不移除所述送絲的情況下移入和移出所述維修腔室。

2.根據權利要求1所述的腔室系統，其中，一個或多個所述裝載/卸載腔室中的每一個腔室還包括：

一個或多個門，該門提供通向所述裝載/卸載腔室的入口；

傳送機，所述傳送機位于所述裝載/卸載腔室內部；以及

一個或多個通風口。

3.根據權利要求2所述的腔室系統，每個所述裝載/卸載腔室包括位于所述裝載/卸載腔室的上部的通風口和位于所述裝載/卸載腔室的底部的通風口；

位于上部的所述通風口能操作地連接到真空泵和空氣供應裝置；并且

位于底部的所述通風口能操作地連接到真空泵和惰性氣體源或惰性氣體混合物源。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的腔室系統，所述腔室系統還包括兩個所述裝載/卸載腔室，在兩個所述裝載/卸載腔室之間具有共用的壁，并且其中，每個所述裝載/卸載腔室還具有與所述沉積腔室共用的壁。

5.根據權利要求1所述的腔室系統，所述沉積腔室還包括位于所述沉積腔室的上部的一個或多個通風口和位于所述沉積腔室的底部的一個或多個通風口；

位于上部的一個或多個所述通風口能操作地連接到真空泵和空氣供應裝置；并且

位于底部的一個或多個所述通風口能操作地連接到真空泵和惰性氣體源或惰性氣體混合物源。

6.根據權利要求1所述的腔室系統，所述沉積腔室還包括一個或多個觀察通道。

7.根據權利要求1所述的腔室系統，所述沉積腔室還包括再循環系統，所述再循環系統包括風扇和熱交換器。

8.根據權利要求1所述的腔室系統，所述維修腔室還包括位于所述維修腔室的上部的一個或多個通風口和位于所述維修腔室的底部的一個或多個通風口；

位于上部的一個或多個所述通風口能操作地連接到真空泵和空氣供應裝置；

位于底部的一個或多個所述通風口能操作地連接到真空泵和惰性氣體源或惰性氣體混合物源。

9.根據權利要求1所述的腔室系統，所述維修腔室還包括入口通道。

10.根據權利要求1所述的腔室系統，所述維修腔室還包括一組手套。

11.一種操作用于實體自由成形制造的腔室系統的方法，所述方法包括：

用惰性環境獨立地更換所述腔室系統的沉積腔室中的環境；

將第一保持基板轉移到位于所述沉積腔室內部的致動器上，同時保持所述沉積腔室中的所述惰性環境；

執行實體自由成形制造以形成第一工件；以及

將所述第一工件移出所述沉積腔室，同時保持所述沉積腔室中的所述惰性環境，

其中，所述腔室系統包括沉積腔室、一個或多個裝載/卸載腔室和維修腔室，所述維修腔室的尺寸設計成容納沉積設備，并且所述維修腔室與所述沉積腔室、位于所述沉積腔室中的所述沉積設備以及到達所述沉積設備的送絲對齊，使得所述沉積設備能在不移除所述送絲的情況下移入和移出所述維修腔室。

12.根據權利要求11所述的方法，其中，所述一個或多個裝載/卸載腔室中的每個裝載/卸載腔室和所述維修腔室通過一個或多個獨立的開口與所述沉積腔室連通。