[發明專利]振動波馬達及光學設備

有效

• 申請號: 201780040601.7
• 申請日: 2017-06-30
• 公開（公告）號: CN109417357B
• 公開（公告）日: 2021-02-05
• 發明（設計）人: 蘆澤隆利;武藤梓
• 申請（專利權）人: 株式會社尼康
• 主分類號: H02N2/12
• 分類號: H02N2/12;B06B1/06;G02B7/08;H01L41/09;H02N2/14;H02N2/16
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所 11247
• 代理人: 張謨煜;段承恩

1.一種振動波馬達，具備：

電-機械轉換元件；

彈性體，其由上述電-機械轉換元件的振動而在驅動面產生振動波；及

相對運動構件，其與上述彈性體的上述驅動面接觸，并由上述振動波驅動旋轉；

其特征在于，

上述電-機械轉換元件的密度為4.2～6.0×10³kg/m³，

在上述彈性體的上述驅動面側設置有多個溝槽，

在將上述多個溝槽的至少一個溝槽的深度設為T，將上述溝槽的底部至上述彈性體的與上述電-機械轉換元件的接合面為止的厚度設為B，并且將上述電-機械轉換元件的厚度定義為C的情形時，

T/(B+C)的值為1.43～2.8的范圍，

上述電-機械轉換元件是以鈮酸鉀鈉、鈮酸鉀、鈮酸鈉或鈦酸鋇為主成分的材料。

2.如權利要求1所述的振動波馬達，

具備驅動電路，該驅動電路對上述振動波馬達供給反復變動的驅動信號，

在將上述振動波馬達自速度0啟動至大于速度0的速度時，針對上述驅動信號，基于T/(B+C)值對頻率掃描的頻率變化率進行變更。

3.如權利要求2所述的振動波馬達，

針對頻率掃描的頻率變化率，

在T/(B+C)為1.43～1.7的范圍時，將頻率的變化量設為0.7kHz/msec以下，

在T/(B+C)為1.7～2.8的范圍時，將頻率的變化量設為0.5kHz/msec以下。

4.一種振動波馬達，具備：

電-機械轉換元件；

彈性體，其由上述電-機械轉換元件的振動而在驅動面產生振動波；及

相對運動構件，其與上述彈性體的上述驅動面接觸，并由上述振動波驅動旋轉；

其特征在于，

上述電-機械轉換元件的密度為4.2～4.7×10³kg/m³，

在上述彈性體的上述驅動面側設置有多個溝槽，

在將上述多個溝槽的至少一個溝槽的深度設為T，將上述溝槽的底部至上述彈性體的與上述電-機械轉換元件的接合面為止的厚度設為B，并且將上述電-機械轉換元件的厚度定義為C的情形時，

T/(B+C)的值為1.3～2.8的范圍，

上述電-機械轉換元件是以鈮酸鉀鈉、鈮酸鉀或鈮酸鈉為主成分的材料。

5.如權利要求4所述的振動波馬達，

具備驅動電路，該驅動電路對上述振動波馬達供給反復變動的驅動信號，

在將上述振動波馬達自速度0啟動至大于速度0的速度時，針對上述驅動信號，基于T/(B+C)值對頻率掃描的頻率變化率進行變更。

6.如權利要求5所述的振動波馬達，

針對頻率掃描的頻率變化率，

在T/(B+C)為1.3～1.7的范圍時，將頻率的變化量設為0.7kHz/msec以下，

在T/(B+C)為1.7～2.8的范圍時，將頻率的變化量設為0.5kHz/msec以下。

7.一種振動波馬達，具備：

元件，其通過電壓的施加而位移；及

彈性體，其以底面與上述元件接觸，并且通過因上述元件的位移而在具有溝槽的驅動面產生的振動波驅動移動構件；

其特征在于，

上述元件的密度為4.2～6.0×10³kg/m³，

在將上述溝槽的深度設為T，將上述溝槽的底部至上述底面為止的距離設為B，并且將上述元件的厚度設為C的情形時，

T/(B+C)的值為1.43～2.8的范圍，

上述元件是以鈮酸鉀鈉、鈮酸鉀、鈮酸鈉或鈦酸鋇為主成分的材料。

8.如權利要求7所述的振動波馬達，

具備驅動電路，該驅動電路向上述振動波馬達供給反復變動的驅動信號，

在將上述振動波馬達自速度0啟動至大于速度0的速度時，基于T/(B+C)值對上述驅動信號的頻率的變化率進行變更。