[發明專利]顯示裝置制造方法

在審

• 申請號: 201780037628.0
• 申請日: 2017-05-30
• 公開（公告）號: CN109315045A
• 公開（公告）日: 2019-02-05
• 發明（設計）人: 田村達彥;柏原康宏
• 申請（專利權）人: 株式會社NSC
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;G09F9/00;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/02
• 代理公司: 北京匯思誠業知識產權代理有限公司 11444
• 代理人: 龔敏;王剛

本發明提供一種不進行有機樹脂膜與玻璃基板的剝離而用簡單的方法可進行彎曲的顯示裝置，顯示裝置制造方法包括：在支承玻璃(20)的第一主面上形成聚酰亞胺膜(12)的步驟；在聚酰亞胺膜(12)上形成包括透明電極層(14)和發光層(16)的顯示元件的步驟；以及通過由保護膜(22)覆蓋包括聚酰亞胺膜(12)的支承玻璃(20)的第一主面側，并且對第二主面側進行蝕刻，從而去除支承玻璃(20)的步驟。

技術領域

本發明涉及一種有機EL顯示器等顯示裝置的制造方法，尤其是涉及一種薄型化至能彎曲的顯示裝置的制造方法。

背景技術

以往，使用液晶顯示器或有機EL顯示器等平板顯示器的顯示裝置用于各種用途。特別地，近年來從設計性的觀點來看，柔性顯示器備受關注。當制造柔性顯示器時多采用易對應于彎曲化的有機EL顯示器。

現有的有機EL顯示器利用蓋玻璃等玻璃基板來密封有機EL元件等顯示元件。通過玻璃基板來保持有機EL元件的氣密性和水密性，防止因氧、水分引起的元件的劣化。但是，由于進一步薄型化和上述那樣的彎曲化的要求，近年來開發了利用樹脂基板的有機EL顯示器。樹脂基板與玻璃基板相比撓性高，即使彎曲也不容易損壞，通過無機膜與有機膜的層疊結構來密封顯示元件，能夠實現與玻璃基板同等程度的阻氣性。

然而，形成為足夠薄以致達到能夠彎曲程度的樹脂基板在制造工序中非常難以處理，其結果，可能成為良率惡化的原因。因此，以往，在支承玻璃上形成聚酰亞胺等有機樹脂膜，以易于在制造工序中進行處理。在由支承玻璃確保基板整體的剛性的狀態下在有機樹脂膜上形成功能膜等顯示元件，并且在進行密封處理之后從支承玻璃剝離有機樹脂膜(例如，參照專利文獻1)。從支承玻璃剝離有機樹脂膜的操作是通過由激光裝置去除預先在支承玻璃和有機樹脂膜之間形成的剝離層來進行的。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2016-004112

發明內容

發明所要解決的課題

但是，在上述方法中存在因在剝離支承玻璃時的激光照射而對顯示元件產生不利影響的可能。另外，需要導入受激準分子激光器等昂貴的制造裝置，并且生產成本也很高。特別地，近年來在大型基板對多個顯示裝置進行倒角的狀態下生產多個顯示裝置，但隨著基板變大，激光的照射面積增大，因此生產效率降低，發生剝離不良的情況變得較多。

本發明的目的在于，提供一種無需進行有機樹脂膜與玻璃基板的剝離，而以簡易的方法可彎曲的顯示裝置。

用于解決課題的技術方案

本發明的顯示裝置制造方法包括：在玻璃基板的第一主面上形成有機樹脂膜的步驟；在有機樹脂薄膜上形成包括顯示元件的層的步驟；以及通過由耐蝕刻性部件覆蓋包括有機樹脂膜的玻璃基板的第一主面側，并且對第二主面側進行蝕刻，從而去除玻璃基板的步驟。

在玻璃基板上形成有機樹脂膜的工序中，例如，在現有所使用的支承玻璃上使用狹縫式涂布機等涂布裝置，來涂布有機樹脂膜。作為有機樹脂膜，優選使用聚酰亞胺。在形成顯示元件的工序中，在有機樹脂膜上形成包括薄膜晶體管或有機EL的發光層等的功能層。在形成這樣的顯示元件之后，密封顯示元件以使其不暴露于外部空氣。在密封工序中，通過交替層疊無機膜與有機膜而成的樹脂膜來進行密封處理。在密封處理之后，用具有耐蝕刻性的膜或抗蝕劑材料來覆蓋樹脂膜，并對玻璃基板進行蝕刻。在蝕刻處理中，通過從第2主面側使蝕刻液與玻璃基板接觸來進行薄型化處理，原則上，通過蝕刻至玻璃基板全部溶解，從而去除玻璃基板。但是，也有玻璃基板在溶解的過程中適當地剝落的情況，在這種情況下，不一定使玻璃基板全部溶解，也能夠去除玻璃基板。