[發明專利]有機電子元件的制造方法及功能層的制造方法

有效

• 申請號: 201780037336.7
• 申請日: 2017-06-14
• 公開（公告）號: CN109315044B
• 公開（公告）日: 2021-01-12
• 發明（設計）人: 吉岡秀益
• 申請（專利權）人: 住友化學株式會社
• 主分類號: H05B33/10
• 分類號: H05B33/10;H01L51/50;H05B33/02
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 朱丹

本發明的一個實施方式的有機電子元件的制造方法具備：涂布膜形成工序，將具有給定功能的功能層用的涂布液涂布于塑料基板而形成涂布膜；以及加熱工序，在紅外線加熱爐內向上述涂布膜照射紅外線而使上述涂布膜加熱固化，由此形成上述功能層，上述加熱工序中，在將上述紅外線加熱爐所具有、且在上述塑料基板的周圍與上述塑料基板分離地配置的構件冷卻到100℃以下的同時，將上述涂布膜利用上述紅外線加熱固化。

技術領域

本發明涉及有機電子元件的制造方法及功能層的制造方法。

背景技術

有機電致發光元件(以下有時稱作“有機EL元件”)、有機光電轉換元件、有機薄膜晶體管等有機電子元件具備設于基板上、且具有給定功能的功能層。

作為上述功能層的形成方法的例子，已知有專利文獻1的技術。專利文獻1中，首先，將包含具有交聯性基團、且作為功能層(專利文獻1中的導電性薄膜)的材料的高分子化合物的涂布液涂布于基板上而形成涂布膜。其后，從紅外線加熱器向涂布膜照射紅外線，利用該紅外線使交聯性基團交聯，由此將涂布膜加熱固化，形成功能層。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：國際公開第2013/180036號

發明內容

發明所要解決的問題

如專利文獻1所述，在對形成于基板上的涂布膜進行紅外線加熱時，通常在紅外線加熱爐內實施涂布膜的紅外線加熱。在涂布膜的紅外線加熱的工序中，由于從紅外線加熱器以輻射狀射出紅外線，因此紅外線也會射入配置于紅外線加熱爐內的帶有涂布膜的基板的周圍的構件、例如紅外線加熱爐的爐壁。該情況下，紅外線所射入的構件受到加熱，產生遠紅外線輻射。

作為有機電子元件的基板，為了使有機電子元件具有撓曲性，近年來有使用塑料基板的趨勢。塑料基板在紅外線當中，與近紅外線(例如波長范圍1.2μm～5.0μm的紅外線)相比，更易于吸收遠紅外線(例如波長范圍5.0μm～10.0μm的紅外線)。因而，如果如上所述，例如紅外線加熱爐的爐壁由紅外線加熱，產生遠紅外線輻射，則塑料基板就被該遠紅外線不必要地加熱。如果如此所述地加熱塑料基板，就會在塑料基板中產生損傷(變形等)，存在有機電子元件的制造成品率降低的問題。

因而，本發明的目的在于，提供可以在減少對塑料基板的損傷的同時實現制造成品率的提高的有機電子元件的制造方法、及功能層的形成方法。

用于解決問題的方法

本發明的一個方面的有機電子元件的制造方法是有機電子元件的制造方法，具備：涂布膜形成工序，將具有給定功能的功能層用的涂布液涂布于塑料基板而形成涂布膜；以及加熱工序，在紅外線加熱爐內向上述涂布膜照射紅外線而使上述涂布膜加熱固化，由此形成上述功能層，上述加熱工序中，在將上述紅外線加熱爐所具有、且在上述塑料基板的周圍與上述塑料基板分離地配置的構件冷卻到100℃以下的同時，將上述涂布膜利用上述紅外線加熱固化。

該制造方法中的加熱工序中，在將上述紅外線加熱爐所具有、且在上述塑料基板的周圍與上述塑料基板分離地配置的構件冷卻到100℃以下的同時，將上述涂布膜利用上述紅外線加熱固化。即使紅外線射入冷卻到100℃以下的構件，也難以產生波長范圍5.0μm～10.0μm的紅外線(以下也稱作“遠紅外線”)的輻射。因而，在加熱工序中，塑料基板的不必要的加熱得到抑制。其結果是，難以在塑料基板中產生變形等損傷。因而，可以實現有機電子元件的制造成品率的提高。

上述涂布液包含具有交聯性基團的材料，上述加熱工序中，可以通過利用上述紅外線使上述交聯性基團交聯，而將上述涂布膜加熱固化。

上述加熱工序中，可以在將作為上述紅外線加熱爐所具有的構件的爐壁的一部分冷卻到100℃以下的同時，將上述涂布膜利用上述紅外線加熱固化。由此，來自上述爐壁的一部分的遠紅外線輻射得到抑制，因此難以在塑料基板中產生損傷。