[發明專利]輸送系統

有效

• 申請號: 201780037187.4
• 申請日: 2017-05-02
• 公開（公告）號: CN109415163B
• 公開（公告）日: 2020-12-29
• 發明（設計）人: 本告陽一
• 申請（專利權）人: 村田機械株式會社
• 主分類號: B65G1/00
• 分類號: B65G1/00;B65G1/04;H01L21/677
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;田軍鋒

本發明提供能夠在與處理裝置之間迅速地交接物品的輸送系統。輸送系統(1A)具備：高空輸送車(12)，其在第一軌道(11)上行駛，并能夠與處理裝置(2)的裝載端口(4)進行物品(3)的交接；儲物架(13)，其沿鉛垂方向排列有多個收納物品的架(41、42)；起重機(15)，其在與第一軌道平行的第二軌道(14)上行駛，并能夠分別與裝載端口和儲物架進行物品的交接；以及第一暫存區(16)，其配置于在與裝載端口進行物品的交接的位置處停止了行駛的起重機能夠進行物品的交接的位置。

技術領域

本發明涉及輸送系統。

背景技術

輸送系統例如利用在半導體器件的制造工廠等中對收容有半導體晶圓或者中間掩模的物品進行輸送這種情況(例如，參照下述的專利文獻1)。該輸送系統具備：輸送物品的高空輸送車、和將物品與儲物架交接的堆垛機。高空輸送車例如向半導體制造裝置等處理裝置的裝載端口搬入物品。儲物架配置于半導體制造裝置等處理裝置的附近，在裝載端口已經有物品的情況下，高空輸送車例如向儲物架的最上層的架搬入物品。堆垛機例如將搬入了儲物架的最上層的架處的物品收納于其他的架，或者在儲物架與裝載端口間移載物品。

專利文獻1:國際公開第2013/150859號

上述那樣的輸送系統在與裝載端口交接物品所需要的時間較長的情況下，導致處理裝置的運轉率降低。例如，若裝載端口被等待搬出的物品堆滿，則處理裝置無法將新的物品搬入裝載端口，從而運轉率降低。另外，處理裝置在向下一個處理轉移時裝載端口處沒有物品的情況下，進行待機直至物品被運至裝載端口，故運轉率降低。

發明內容

本發明鑒于上述的狀況，目的在于提供能夠在自身與處理裝置之間迅速地交接物品的輸送系統。

本發明的輸送系統具備：高空輸送車，其在第一軌道上行駛，并能夠與處理裝置的裝載端口進行物品的交接；儲物架，其沿鉛垂方向排列有多個收納物品的架；起重機，其在與第一軌道平行的第二軌道上行駛，并能夠分別與裝載端口和儲物架進行物品的交接；以及第一暫存區，其配置于在與裝載端口進行物品的交接的位置處停止了行駛的起重機能夠進行物品的交接的位置。

另外，也可以是，高空輸送車具備：使物品沿水平方向移動的橫向移動機構，第一暫存區配置于高空輸送車能夠使用橫向移動機構進行物品的交接的位置。另外，也可以是，第一暫存區配置于在與裝載端口進行物品的交接的位置處停止了行駛的高空輸送車能夠使用橫向移動機構進行物品的交接的位置。另外，也可以具備第二暫存區，該第二暫存區與第一暫存區鄰接，并能夠供起重機進行物品的交接。另外，也可以是，高空輸送車具備：使物品沿水平方向移動的橫向移動機構，第二暫存區配置于高空輸送車能夠使用橫向移動機構進行物品的交接的位置。另外，也可以是，儲物架與處理裝置鄰接配置，高空輸送車能夠與儲物架的多個架中的最上層的架進行物品的交接。另外，也可以是，第一軌道設置于裝載端口的正上方。

在本發明中，第一暫存區配置于在與裝載端口進行物品的交接的位置處停止了行駛的起重機能夠交接物品的位置。因此，起重機能夠在停止了行駛的狀態下在第一暫存區與裝載端口間移載物品。由此，輸送系統能夠在輸送系統與處理裝置之間迅速地交接物品。