[發(fā)明專利]研磨液、化學(xué)機(jī)械研磨方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780034712.7
• 申請日: 2017-05-15
• 公開（公告）號: CN109312213B
• 公開（公告）日: 2021-11-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 上村哲也
• 申請（專利權(quán)）人: 富士膠片株式會(huì)社
• 主分類號: C09K3/14
• 分類號: C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 薛海蛟

1.一種研磨液，其為使用于化學(xué)機(jī)械研磨的研磨液，

所述研磨液中，含有研磨粒、有機(jī)酸及電荷調(diào)整劑，所述電荷調(diào)整劑的含量相對于所述有機(jī)酸的含量以質(zhì)量比計(jì)為0.6以下，且Ca濃度為100質(zhì)量ppt以下，

所述研磨液的pH在1.5～5.0的范圍，

在研磨液中，通過SNP-ICP-MS測定而求出的金屬粒子的含量為100質(zhì)量ppt以下。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液，

所述Ca濃度為0.01質(zhì)量ppt～100質(zhì)量ppt。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨液，其中，

所述Ca濃度為0.01質(zhì)量ppt～80質(zhì)量ppt。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的研磨液，其中，

所述有機(jī)酸含有選自由丙二酸、琥珀酸、蘋果酸及檸檬酸組成的組中的多元酸。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨液，其中，

作為所述電荷調(diào)整劑，含有選自由硝酸、硼酸及磷酸組成的組中的無機(jī)酸或其銨鹽或有機(jī)酸的銨鹽。

6.一種化學(xué)機(jī)械研磨方法，其包括如下工序：

對安裝于研磨平臺(tái)的研磨墊，一邊供給權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的研磨液，一邊使被研磨體的被研磨面與所述研磨墊接觸，使所述研磨體及所述研磨墊相對移動(dòng)而研磨所述被研磨面，從而得到經(jīng)研磨的被研磨體。