[發(fā)明專利]表面檢查系統(tǒng)和表面檢查方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780033485.6
• 申請(qǐng)日: 2017-05-29
• 公開（公告）號(hào): CN109313133B
• 公開（公告）日: 2021-09-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: M·理查德;F·皮勞德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 鮑勃斯脫梅克斯股份有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/57
• 分類號(hào): G01N21/57;G01N21/86;G01N21/89;G01N21/88
• 代理公司: 北京德崇智捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11467
• 代理人: 紀(jì)楠

1.一種表面檢查系統(tǒng)（10），所述表面檢查系統(tǒng)（10）配置為確定出現(xiàn)在檢查區(qū)域（20）的板材元件（4）的表面上的光澤部分的位置，所述表面檢查系統(tǒng)（10）包括：

暗場(chǎng)照明器（14），其定位并配置為作為暗場(chǎng)照明照射板材元件的表面，和明場(chǎng)照明器（16），其定位并配置為作為明場(chǎng)照明照射板材元件的表面；

相機(jī)（12），其配置為獲取出現(xiàn)在檢查區(qū)域的板材元件的表面的圖像，

其中設(shè)置暗場(chǎng)照明器（14）和明場(chǎng)照明器（16）的光強(qiáng)度，使得當(dāng)被照明的板材元件具有漫反射表面時(shí)，在暗場(chǎng)照明期間反射到相機(jī)的光強(qiáng)度與在明場(chǎng)照明期間反射到相機(jī)的光強(qiáng)度相同；和

圖像評(píng)估單元（18），其配置為通過把在暗場(chǎng)照明條件期間由相機(jī)獲取的線圖像減去在明場(chǎng)照明條件期間由相機(jī)獲取的線圖像，來接收?qǐng)D像并確定光澤部分的位置，對(duì)于減法反之亦然。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢查系統(tǒng)（10），其中所述相機(jī)（12）是線陣相機(jī)，其配置為用于獲取線圖像。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢查系統(tǒng)（10），其中所述暗場(chǎng)照明器（14）包括單列LED，沿著所述單列設(shè)有兩個(gè)相對(duì)布置的反射器。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢查系統(tǒng)（10），其中所述明場(chǎng)照明器（16）包括多列LED，這些列平行布置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢查系統(tǒng)（10），其中所述暗場(chǎng)照明器（14）的光學(xué)平面相對(duì)于中間平面（M）成角度約45°，其中所述中間平面（M）垂直于觀看區(qū)域（20）的方向。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢查系統(tǒng)（10），其中所述明場(chǎng)照明器（16）的光學(xué)平面相對(duì)于中間平面（M）成角度約30°，其中所述中間平面（M）垂直于觀看區(qū)域（20）的方向。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢查系統(tǒng)（10），其中所述相機(jī)（12）的觀看平面相對(duì)于中間平面（M）成角度約20°，其中所述中間平面（M）垂直于觀看區(qū)域（20）的方向。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢查系統(tǒng)（10），其中所述相機(jī)（12）在待檢查的板材元件（4）的表面的分辨率在0.1至0.6mm的范圍。

9.一種識(shí)別正在移動(dòng)通過板材元件加工機(jī)的板材元件（4）的反射表面區(qū)域的方法，通過使用根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面檢查系統(tǒng)（10）進(jìn)行所述識(shí)別，所述方法包括：

在明場(chǎng)照明條件下獲取在觀看區(qū)域（20）里的所述板材元件（4）的表面的線圖像（l₁₆）；以及

在暗場(chǎng)照明條件下獲取在所述觀看區(qū)域（20）里的所述板材元件（4）的相同表面的線圖像（l₁₄）；以及

然后通過一個(gè)減去另一個(gè)比較兩張所述線圖像（l₁₄, l₁₆）；

當(dāng)兩張所述線圖像（l₁₄, l₁₆）之間的差異（S_n）高于預(yù)定閾值，則將所述表面區(qū)域識(shí)別為反射表面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中比較兩張所述線圖像（l₁₄, l₁₆）的強(qiáng)度。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中逐個(gè)像素比較兩張所述線圖像（l₁₄, l₁₆）。

12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，所述方法進(jìn)一步包括：

基于在暗場(chǎng)照明下獲取的線圖像創(chuàng)建第一重構(gòu)圖像，以及基于在明場(chǎng)照明條件下獲取的線圖像創(chuàng)建第二重構(gòu)圖像；以及

通過比較所述第一重構(gòu)圖像和所述第二重構(gòu)圖像來識(shí)別反射表面。