[發(fā)明專利]坐標測量探針主體有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780032777.8 | 申請日： | 2017-04-18 |
| 公開（公告）號： | CN109313004B | 公開（公告）日： | 2021-10-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 斯科特.艾倫.哈斯拉;R.A.威斯納;比約恩.E.B.詹森;S.古賀;A.齊藤 | 申請（專利權(quán)）人： | 株式會社三豐 |
| 主分類號： | G01B5/012 | 分類號： | G01B5/012;G01B7/00;G01B7/012 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105 | 代理人： | 賀紫秋 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 坐標 測量 探針 主體 | ||
1.一種用于坐標測量探針主體的構(gòu)造，具有沿探針主體軸線方向的相對較大的長度尺寸和沿橫向于探針主體軸線的方向的相對較短的截面尺寸，所述坐標測量探針主體包括：
剛性探針主體結(jié)構(gòu)，包括上部安裝部分、沿探針主體軸線方向延伸的軸向延伸部分、以及包括一個或多個附接部分的順應元件安裝框架；
觸針懸掛部分，包括：
聯(lián)接到觸針的移動元件，以及布置成將所述移動元件從所述順應元件安裝框架懸掛的一個或多個基本上平面的順應元件的構(gòu)造；
位移感測構(gòu)造，布置成感測移動元件相對于順應元件安裝框架和剛性探針主體結(jié)構(gòu)中的至少一個的位移，所述位移感測構(gòu)造包括輸出相應的位移信號的至少一個位移傳感器；和
電路板組件，包括至少第一部件安裝部分、第二部件安裝部分和第三部件安裝部分，它們是大致平面部分并且沿著探針主體軸線的方向延伸；
其中，布置成使所述移動元件從所述順應元件安裝框架懸掛的一個或多個基本上平面的順應元件的構(gòu)造中的每個順應元件包括聯(lián)接到所述移動元件的可偏轉(zhuǎn)的中心區(qū)域以及附接到所述順應元件安裝框架的附接部分的周邊區(qū)域，所述附接部分相對于所述電路板組件的遠端遠側(cè)地定位；和
其中，電路板組件的所述至少第一部件安裝部分、第二部件安裝部分和第三部件安裝部分圍繞剛性探針主體結(jié)構(gòu)的軸向延伸部分布置，并且布置在上部安裝部分與順應元件安裝框架的一個或多個附接部分之間。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的構(gòu)造，其中，所述至少第一部件安裝部分、第二部件安裝部分和第三部件安裝部分與至少一個柔性連接器部件電互連，使得至少第一部件安裝部分、第二部件安裝部分和第三部件安裝部分和所述至少一個柔性連接器部件形成能夠折疊的電路板組件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的構(gòu)造，其中，至少第一部件安裝部分、第二部件安裝部分和第三部件安裝部分中的一個還包括安裝在其上的現(xiàn)場可編程門陣列，并且其中，至少一個柔性連接器部件的端部部分延伸超出至少第一部件安裝部分、第二部件安裝部分和第三部件安裝部分并包括配置為提供對現(xiàn)場可編程門陣列的可編程訪問的連接元件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的構(gòu)造，其中，所述至少第一部件安裝部分、第二部件安裝部分和第三部件安裝部分包括多層電路板的剛性層，并且它們與包括柔性電路構(gòu)件的共用柔性層電互連。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的構(gòu)造，其中，將移動元件從順應元件安裝框架懸掛的所有順應元件以及順應元件安裝框架的一個或多個附接部分相對于電路板組件的遠端遠側(cè)地定位。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的構(gòu)造，其中，順應元件安裝框架剛性且可釋放地聯(lián)接到剛性探針主體結(jié)構(gòu)的其余部分，使得移動元件、將移動元件從順應元件安裝框架懸掛的所有順應元件、位移感測構(gòu)造和順應元件安裝框架形成懸掛模塊，該懸掛模塊能夠與剛性探針主體結(jié)構(gòu)的其余部分分離。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的構(gòu)造，其中，順應元件安裝框架包括柱部分，并且剛性探針主體結(jié)構(gòu)的軸向延伸部分包括配置成接收柱部分的孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的構(gòu)造，還包括柔性電路連接器，其可操作地連接到至少一個位移傳感器，并且從位移感測構(gòu)造延伸，以在第一部件安裝部分、第二部件安裝部分和第三部件安裝部分中的一個上的配合連接器處可釋放地接合電路板組件。
9.根據(jù)權(quán)利要求5所述的構(gòu)造，其中，順應元件安裝框架包括柱部分，并且剛性探針主體結(jié)構(gòu)的軸向延伸部分螺紋附接到柱部分。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的構(gòu)造，其中，一個或多個基本上平面的順應元件的構(gòu)造包括：
包括第一撓曲構(gòu)造的基本上平面的第一順應元件，第一撓曲構(gòu)造將基本上平面的第一順應元件的可偏轉(zhuǎn)的中心區(qū)域連接到基本上平面的第一順應元件的周邊區(qū)域。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的構(gòu)造，其中，第一部件安裝部分包括處理模擬信號的模擬部件，第三部件安裝部分僅包括數(shù)字信號處理部件。
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