[發明專利]用于清潔塑料表面的方法在審
| 申請號： | 201780032085.3 | 申請日： | 2017-05-24 |
| 公開（公告）號： | CN110099755A | 公開（公告）日： | 2019-08-06 |
| 發明（設計）人： | L·雷布施托克;M·弗里達;T·馬特 | 申請（專利權）人： | 布魯克斯自動化（德國）有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/08 | 分類號： | B08B3/08;B08B3/10;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/67;C02F1/461;B08B9/08 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鳴慧 |
| 地址： | 德國拉*** | 國省代碼： | 德國;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 塑料表面 沖洗 清潔塑料 去離子水 金屬污染 電解水 | ||
1.用于清潔塑料表面、尤其用于除去所述塑料表面的金屬污染和/或顆粒的方法，其中，所述方法具有下列步驟：
a)以去離子水沖洗所述塑料表面，
b)以電解水沖洗所述塑料表面，并且
c)以去離子水沖洗所述塑料表面。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，以電解水沖洗包含以陽極水沖洗，該陽極水具有小于7的pH值。
3.根據權利要求1或2所述的方法，其特征在于，以電解水沖洗包含以陰極水沖洗，該陰極水具有大于7的pH值。
4.根據權利要求3所述的方法，其特征在于，在以陰極水沖洗所述塑料表面之前，以陽極水沖洗所述塑料表面。
5.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述電解水的pH值和/或氧化還原電勢被調節為預確定的值。
6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，在電解池(1)中制造所述電解水，該電解池具有兩個電極(4、8)并且將摻入電解質的水導入到該電解池中，其中，調節所述電解水的pH值和/或氧化還原電勢，其方式是，使用所述電解質的濃度和/或在所述兩個電極(4、8)之間流動的電流作為控制參數。
7.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述塑料表面的沖洗在每個方法步驟中持續5秒和600秒之間、優選15秒和90秒之間。
8.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，在不同的方法步驟中的沖洗持續不同的時間。
9.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述去離子水和/或所述電解水的溫度在10℃和70℃之間。
10.用于實施根據前述權利要求中任一項所述的方法的裝置。
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