[發(fā)明專利]生產(chǎn)光學(xué)部件的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780032044.4
• 申請日: 2017-03-21
• 公開（公告）號: CN109153562B
• 公開（公告）日: 2023-06-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: H·J·昆策爾;V·斯坦恩徹麗
• 申請（專利權(quán)）人: 弗勞恩霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會
• 主分類號: B81C1/00
• 分類號: B81C1/00;G02B26/08;G02B7/00
• 代理公司: 北京思益華倫專利代理事務(wù)所(普通合伙) 11418
• 代理人: 趙飛;彭臻臻

1.一種用于生產(chǎn)光學(xué)部件的方法，所述方法包括以下步驟：

-提供變形元件(1)和載體(5)，所述變形元件(1)至少在一個區(qū)域中包含玻璃和/或類玻璃材料，或由玻璃和/或類玻璃材料構(gòu)成，

-使所述變形元件(1)與所述載體(5)接觸，由此在所述變形元件(1)和所述載體(5)之間形成至少一個第一接觸表面(6)，

-將功能元件(2)施加在所述變形元件(1)上，使得在所述功能元件(2)和所述變形元件(1)之間形成至少一個第二接觸表面(7)，所述第二接觸表面(7)與所述第一接觸表面(6)至少部分地重疊，從而通過所述變形元件(1)的形成在所述兩個接觸表面(6、7)的重疊區(qū)域(16a、16b)之間的區(qū)域形成變形區(qū)域(15)，

-對所述變形區(qū)域(15)的至少一部分進(jìn)行加熱并使之變形，使得所述功能元件(2)至少部分地偏轉(zhuǎn)，

-在將所述功能元件(2)施加在所述變形元件(1)上的步驟中和/或在對所述變形區(qū)域(15)加熱和變形的步驟中，連接所述功能元件(2)與所述變形元件(1)，

特征在于：

A)所述變形元件(1)為晶片，或者由晶片或者平板通過分離和/或通過結(jié)構(gòu)化來提供所述變形元件(1)；和

B)所述變形區(qū)域(15)設(shè)計成框架形狀，和/或其中形成至少兩個變形區(qū)域(15)，這兩個變形區(qū)域與同一功能元件(2)接觸，和/或所述第二接觸表面的重疊區(qū)域(16b)大約對應(yīng)于所述第二接觸表面(7)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，對所述變形區(qū)域(15)的至少一部分進(jìn)行加熱并使之變形，使得所述功能元件(2)至少部分地移位和/或傾斜。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃包括硅酸鹽玻璃。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃包括硼硅酸鹽玻璃。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述功能元件(2)至少在一個區(qū)域中包含半導(dǎo)體材料、玻璃和/或類玻璃材料，或由半導(dǎo)體材料、玻璃和/或類玻璃材料構(gòu)成。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述半導(dǎo)體材料包括硅。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述玻璃包括硅酸鹽玻璃。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的方法，其特征在于，所述玻璃包括具有堿土添加劑的硅酸鹽玻璃。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述功能元件(2)是光學(xué)元件。

10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述功能元件(2)是光學(xué)窗口、反射鏡、半透明反射鏡、分束器、棱鏡、透鏡和/或干涉濾光器。

11.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述功能元件(2)、所述變形元件(1)和/或所述載體(5)具有凹陷和/或開口。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其特征在于，使所述變形元件(1)與所述載體(5)接觸和/或?qū)⑺龉δ茉?2)施加在所述變形元件(1)上，使得通過所述凹陷和/或開口而在所述變形元件(1)和所述載體(5)之間、在所述變形元件(1)和所述功能元件(2)之間、和/或在所述功能元件(2)、所述變形元件(1)和所述載體(5)之間形成空腔(13、11、12)，其中，所述空腔(13、11、12)被密封。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，所述空腔(13、11、12)被氣密地密封。

14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的方法，其特征在于，在所述空腔(13、11、12)中產(chǎn)生低于或高于環(huán)境壓力壓力。