[發(fā)明專利]使用圖案化疏水性表面進行的自組裝圖案化

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780030534.0
• 申請日: 2017-05-17
• 公開（公告）號: CN109313396B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發(fā)明（設計）人: 吳怡萱;林彥佑;M·謝恩·博文;西里爾·德拉特;法比恩·阿貝爾;塔倫·庫拉納;阿諾德·里瓦爾;普爾亞·薩伯恩希;袁大軍;瑪利亞·坎德拉里亞·羅格特巴奇伽魯普
• 申請（專利權）人: ILLUMINA公司
• 主分類號: G03F7/40
• 分類號: G03F7/40;G03F7/00;B82Y30/00
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11204
• 代理人: 王達佐;洪欣

1.包括固體支撐物的具有凝膠涂覆的輪廓的圖案化表面，其包括：

表面，所述表面包括連續(xù)的疏水性涂覆層；

光刻膠層，其在所述固體支撐物的疏水性涂覆層上，其中所述光刻膠層包括微米尺度或納米尺度的輪廓；和

在所述微米尺度或納米尺度的輪廓內(nèi)的凝膠材料層，其中所述凝膠材料能夠共價鍵合至寡核苷酸；

其中所述疏水性涂覆層經(jīng)由第一粘附促進層與所述表面接觸，所述第一粘附促進層包括具有主鏈結(jié)構(gòu)以及羧基末端官能團的無定形全氟化聚合物CYTOP-A、(3-氨基丙基)三甲氧基硅烷(APTMS)或(3-氨基丙基)三乙氧基硅烷(APTES)，或者它們的組合；

其中所述光刻膠經(jīng)由包含氟化表面活性劑的第二粘附促進層與所述固體支撐物的疏水性涂覆層接觸。

2.如權利要求1所述的圖案化表面，其中所述輪廓由疏水性間隙區(qū)分隔開，并且還包括(a)結(jié)合材料層，或(b)硅烷層，其中所述結(jié)合材料層或硅烷層覆蓋至少一部分的所述輪廓和一部分的所述疏水性間隙區(qū)。

3.如權利要求1所述的圖案化表面，其中至少一部分的所述微米尺度或納米尺度的輪廓不含所述疏水性涂覆層。

4.如權利要求1所述的圖案化表面，其中所述輪廓包括孔。

5.如權利要求1所述的圖案化表面，其中所述疏水性涂覆層包含氟化聚合物、全氟化聚合物或硅聚合物或其混合物。

6.如權利要求5所述的圖案化表面，其中所述疏水性涂覆層包含無定形氟聚合物、具有主鏈結(jié)構(gòu)以及甲硅烷基化酰胺末端官能團的無定形全氟化聚合物CYTOP-M、具有主鏈結(jié)構(gòu)以及三氟甲基末端官能團的無定形全氟化聚合物CYTOP-S、CYTOP-A、聚四氟乙烯、Teflon、派瑞林、氟化烴、氟丙烯酸共聚物、Cytonix Fluoropel、氟硅烷、等離子體沉積的氟碳、硅聚合物、聚二甲基硅氧烷或硅氧烷或者它們的混合物。

7.如權利要求6所述的圖案化表面，其中所述疏水性涂覆層包含全氟化聚合物。

8.如權利要求5所述的圖案化表面，其中所述疏水性涂覆層包含CYTOP-M、CYTOP-S或CYTOP-A或其混合物。

9.如權利要求7所述的圖案化表面，其中所述疏水性涂覆層包含CYTOP-S。

10.如權利要求7所述的圖案化表面，其中所述疏水性涂覆層包含CYTOP-M。

11.如權利要求7所述的圖案化表面，其中所述疏水性涂覆層包含CYTOP-S和CYTOP-A。

12.如權利要求1所述的圖案化表面，其中所述氟化表面活性劑是Surflon S-651、Novec FC-4430、Novec FC-4432、Novec FC-4434、Novec FC-5210、Zonyl FSN-100、ZonylFS-300、Zonyl FS-500、Capstone FS-10、Capstone FS-30、Capstone FS-60、Capstone FS-61、Capstone FS-63、Capstone FS-64或Capstone FS-65或其組合。

13.如權利要求1至11中任一項所述的圖案化表面，其中所述光刻膠是Shipley S1800?系列光刻膠。

14.如權利要求13所述的圖案化表面，其中所述光刻膠選自Shipley S1818(MICROPOSIT? S1818?)和Shipley S1805 (MICROPOSIT? S1805?)。

15.如權利要求1至11中任一項所述的圖案化表面，其中所述凝膠材料包括PAZAM。