[發明專利]發光二極管的保護膜的沉積方法

有效

• 申請號: 201780029143.7
• 申請日: 2017-05-16
• 公開（公告）號: CN109155343B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 李洪宰;金宗煥;沈愚泌;李愚嗔;尹星然;李敦熙
• 申請（專利權）人: TES股份有限公司
• 主分類號: H01L33/00
• 分類號: H01L33/00;C23C16/452;C23C16/34;H01L33/02;C23C16/40;C23C16/455
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 馬爽;臧建明

本發明是有關于一種發光二極管的保護膜沉積方法，上述保護膜沉積方法包含于基板的發光二極管的上部通過原子層沉積制程沉積第一保護膜的步驟；以及于上述第一保護膜的上部通過化學氣相沉積制程沉積至少一個追加保護膜的步驟。

技術領域

本發明涉及一種發光二極管的保護膜沉積方法，更詳細而言，有關于一種沉積包含通過ALD而沉積的保護膜層與通過PECVD而沉積的保護膜層的所為“混合物(hybrid)”形態的保護膜的方法。

背景技術

最近隨著信息化時代的發達，對于顯示二極管的研究逐漸活躍，特別是，發光二極管(LED：Light emitting diode)顯示或有機發光二極管(OLED：Organic Light emittingdiode)顯示備受關注。

上述有機發光二極管利用自身發散光的有機物質，具有與先前的液晶顯示器(LCD：Liquid Crystal Display)、等離子體顯示面板(PDP：Plasma Display Panel)等截然不同的特性。特別是，利用有機發光二極管的顯示裝置作為下一代顯示裝置，作為可實現所謂撓性顯示的裝置而被人們所熟知，最近經常活用在如手機、智能手機及平板電腦的各種便攜式裝置的顯示。

有機發光二極管是電子與空穴于半導體里產生電子-空穴對并通過上述電子-空穴對的再結合過程發光的二極管。如此的有機發光二極管于相對低的驅動電壓，能夠表現光的三原色，進而于實現高分辨率及天然色之處展現優秀性。并且，以低價可產生大面積的顯示裝置，且存在具有可撓性的特性與迅速的回應速度的優點。

然而，如上述的有機發光二極管因包含有機薄膜與電極的構造，而具有于外部的水分或氧氣等向內部浸透的情形時，快速退化(degradation)的問題。為了解決此種問題，有機發光二極管必需用于隔絕水分與氧氣的保護膜(passivation film)。

最近開發了利用原子層沉積制程(ALD：Atomic Layer Deposition)或等離子體輔助化學氣相沉積制程(PECVD：Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)形成多層的無機材料的保護膜的方法。

然而，原子層沉積制程有具有低WVTR(Water Vapor Transmission Rate：每單位面積及時間的水分透過量)的優點，但難以實現大面積化，且特別有生產率(throughput)顯著降低的問題。

進而，于利用等離子體輔助化學氣相沉積制程的保護膜的情形時，因相對非常厚的厚度而降低撓性的特性的問題。

發明內容

發明欲解決的課題

本發明是為了解決如上述的問題，提供一種包含通過ALD而沉積的保護膜層及通過PECVD而沉積的保護膜層的保護膜沉積方法。

即，提供一種保護膜沉積方法，于上述發光二極管的上部沉積通過階梯覆蓋(stepcoverage)率佳的ALD而沉積的保護膜層，且于上述ALD保護膜層的上部利用PECVD沉積保護膜層，藉此一方面可具有比先前明顯地薄的厚度，另一方面可發揮與先前相似的效果。

并且，本發明提供一種保護膜沉積方法，通過提供一方面具有低WVTR，另一方面具有柔軟特性的保護膜，而可適用于撓性顯示裝置。

解決課題的手段

于如上述的本發明中，一種發光二極管的保護膜沉積方法包含如下步驟：于基板的發光二極管的上部通過原子層沉積制程沉積第一保護膜的步驟；以及于上述第一保護膜的上部通過化學氣相沉積制程沉積至少一個追加保護膜的步驟。