[發(fā)明專利]金屬密封用玻璃管以及金屬密封用玻璃

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780026628.0
• 申請日: 2017-04-13
• 公開（公告）號: CN109153595B
• 公開（公告）日: 2022-08-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 后藤龍哉;白石鶴美;奧長清行;橋本幸市
• 申請（專利權(quán)）人: 日本電氣硝子株式會社
• 主分類號: C03C3/085
• 分類號: C03C3/085;C03C3/091;H01L23/04;H01R9/16
• 代理公司: 北京奉思知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11464
• 代理人: 賈寧;王國志

提供一種密封時不易起泡的金屬密封用玻璃管。其特征在于，包含以質(zhì)量百分率計含有SiO₂+B₂O₃50％以上、Al₂O₃0～10％、RO(R為堿土金屬)3～20％、R'₂O(R'為堿金屬)11～20％、R'₂O(R'為堿金屬)11～22％并且從室溫加熱到1100℃時的CO₂釋放量為10μl/g以下的玻璃。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及在氣密端子等中使用的金屬密封用玻璃管。

背景技術(shù)

氣密端子是使導線端子在圓環(huán)狀的外周金屬內(nèi)貫通，并且用玻璃層進行密封的構(gòu)造(例如專利文獻1)。氣密端子不僅被用作配線用的絕緣端子，還可以用作封裝(package)，即：在搭載了電氣/電子元器件、半導體設(shè)備等之后，蓋上蓋子，將所述元器件等密封成完全氣密，能夠保護其免受各種環(huán)境條件影響。

這樣的氣密端子例如能夠通過將導線端子插入到玻璃管并且裝入外周金屬內(nèi)，進行熱處理進行密封一體化，然后，對端面的導線端子、外周金屬以及玻璃研磨加工，從而進行制作。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：特開2005-353291號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明欲解決的技術(shù)問題

對于制造氣密端子中使用的玻璃管，要求平均線性熱膨脹系數(shù)與外周金屬、導線端子匹配并且密封時不起泡等。

然而，現(xiàn)有的玻璃管存在密封時與導線端子等反應(yīng)而起泡的情況。一旦起泡，導致氣密不良，與導線端子等的界面可能發(fā)生剝離。

本發(fā)明的目的是提供密封時不易起泡的金屬密封用玻璃管。

用于解決問題的技術(shù)手段

本發(fā)明的發(fā)明人們進行了各種研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，玻璃中含有的氣體是起泡的原因，從而促成了本發(fā)明的提出。

即，本發(fā)明的金屬密封用玻璃管的特征在于，包含玻璃，以質(zhì)量百分率計，所述玻璃含有：SiO₂+B₂O₃ 50％以上、Al₂O₃ 0～10％、RO(R為堿土金屬)3～20％、R'₂O(R'為堿金屬)11～22％，并且從室溫加熱到1100℃時的CO₂釋放量為10μl/g以下。此處，“SiO₂+B₂O₃”意味著SiO₂和B₂O₃的總含量。“RO(R為堿土金屬)3～20％”意味著堿土金屬氧化物的總含量為3～20％。“R'₂O(R'為堿金屬)11～22％”意味著堿金屬氧化物的總含量為11～22％。“從室溫加熱到1100℃時的CO₂釋放量”意味著用氣體分析裝置測出的CO₂釋放量。需要說明的是，氣體分析裝置由石英制的容器、質(zhì)量分析器構(gòu)成。測定樣品使用了將用乳缽粉碎后的玻璃片穿過篩孔1000μm目的篩并且殘留在篩孔300μm的篩上的玻璃片。CO₂釋放量的測定如下地進行。首先，將樣品放置在石英制的容器，以一定速度升溫加熱，從樣品中產(chǎn)生氣體。然后利用載氣將從樣品產(chǎn)生的氣體輸送到質(zhì)量分析器，利用質(zhì)量分析器來檢測CO₂氣體。對這樣檢測出的CO₂氣體，用μL換算在稱為標準狀態(tài)(0℃、1氣壓)這樣的假定條件下從每1g重量的樣品放出的氣體量。

具有上述構(gòu)成的本發(fā)明的金屬密封用玻璃管容易得到與SUS等金屬匹配的平均線性熱膨脹系數(shù)，并且，能夠調(diào)整成適合密封的粘度特性。進一步地，由于熔解在玻璃中的CO₂氣體量少，因此能夠有效地抑制密封時的起泡。