[發(fā)明專利]過濾器

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780026002.X
• 申請日: 2017-09-07
• 公開（公告）號: CN109104873A
• 公開（公告）日: 2018-12-28
• 發(fā)明（設計）人: 金光和珠;池田宗弘
• 申請（專利權）人: 中外爐工業(yè)株式會社
• 主分類號: F24F13/28
• 分類號: F24F13/28;B01D39/20;B01D46/00;B01D46/10
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100
• 代理人: 胡曼

一種設于使氣體循環(huán)并對工件進行熱處理的清潔烤箱(10)的金屬制的過濾器(4)，包括：頂部(41)，所述頂部(41)朝供被熱處理的工件(W)配置的熱處理室(2)側突出；以及側部(42～45)，所述側部(42～45)與頂部(41)連續(xù)形成。

技術領域

本發(fā)明涉及一種過濾器，在用于對半導體元件、精密材料等進行干燥、燒成等的清潔烤箱中使用。

背景技術

以往，如專利文獻1所示，在清潔烤箱中，設置有去除細小的灰塵(顆粒)的HEPA過濾器。

在此，如專利文獻2所示，由于HEPA過濾器由玻璃纖維、陶瓷纖維而制成濾材，因此，會因溫度變化而產生灰塵，從而存在向清潔烤箱的熱處理室?guī)腩w粒這樣的技術問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2005-156089號公報

專利文獻2：日本專利特開平5-208112號公報

發(fā)明內容

發(fā)明所要解決的技術問題

此外，在專利文獻2中，公開了為了抑制溫度變化，設置專用的加熱器。但是，存在設備大規(guī)模、成本增加這樣的技術問題。

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種能抑制成本增加并使帶入熱處理室內的顆粒量降低、應用于清潔烤箱的過濾器。

解決技術問題所采用的技術方案

本發(fā)明是一種金屬制的過濾器，設于使氣體循環(huán)并對工件進行熱處理的清潔烤箱，其特征在于，包括：

頂部，上述頂部朝供被熱處理的工件配置的熱處理室側突出；以及

側部，上述側部與上述頂部連續(xù)形成。

根據上述結構，通過采用金屬制的過濾器，從而能抑制過濾器產生灰塵，能降低帶入熱處理室內的顆粒量。此外，若欲利用金屬制的過濾器來提高顆粒的捕集效率，則會因過濾器使壓力損失增大，但過濾器包括頂部以及與頂部連續(xù)形成的側部，從而能增加氣體的流通面積，因此能采用捕集效率提高了的金屬制過濾器。其結果是，無需對設有專利文獻2所示的加熱器等這樣的設備進行大規(guī)模地改變，能提供一種抑制成本增加的清潔烤箱。

此外，較為理想的是，本發(fā)明還包括以下結構。

(1)上述頂部和上述側部各自包括金屬制的過濾構件和金屬制的框架構件，具有板狀，

上述框架構件通過焊接安裝于上述過濾構件的外周。

(2)上述側部從上述頂部的外周整體連續(xù)形成。

(3)在上述側部的端部形成有凸緣部。

(4)上述頂部具有板狀的過濾構件沿氣流方向翻折的翻折形狀。

根據上述結構(1)，頂部和側部具有板狀，作為板便于安裝，從而便于濾器的組裝。此外，由于過濾構件和框架構件均由金屬構成，因此，能抑制由熱膨脹差引起的過濾構件的松弛。此外，更為理想的是，過濾構件和框架構件是相同材質(例如是不銹鋼)，熱膨脹率相同。此外，過濾構件由金屬形成，通過焊接安裝有框架構件，因此，能防止過濾構件與框架構件之間的連結部處發(fā)生泄漏、產生灰塵。

根據上述結構(2)，側部從頂部的外周部整體連續(xù)形成，其結果是，利用頂部和側部形成立體形狀，從而能容易地對過濾器進行操作、安裝。

根據上述結構(3)，由于在側部形成有凸緣部，因此，能容易地將側部安裝于清潔烤箱的內部框架。

根據上述結構(4)，頂部具有翻折形狀，從而能進一步增加氣體的流通面積，能采用捕集效率提高了的金屬制過濾器。