[發明專利]接合基板的裝置和方法

在審

• 申請號: 201780025114.3
• 申請日: 2017-09-21
• 公開（公告）號: CN110168711A
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: D.齊納;T.瓦根萊特納;J.M.聚斯;T.普拉赫;J.馬林格
• 申請（專利權）人: EV集團E·索爾納有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/683;H01L21/18;H01L21/20;H01L21/687
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 郭帆揚;李雪瑩

1.用于將第一基板(4o)與第二基板(4u)在所述基板(4o,4u)的彼此面對的接觸面(4k)處接合的方法，其中，所述第一基板(4o)被接納在第一接納設備(1o)上且所述第二基板(4u)被接納在第二接納設備(1u)上，且其中，在所述第二基板(4u)與所述第二接納設備(1u)之間布置有板(17u)，

其特征在于，

所述第二基板(4u)與所述板(4u)在所述接合之前且/或在所述接合期間相對所述第二接納設備(1u)被變形。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一基板(4o)與所述第一接納設備(1o)之間布置有板(17o)，其中，所述第一基板(4o)與所述板(17o)在所述接合之前且/或期間相對所述第一接納設備(1o)被變形。

3.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，在接觸所述接觸面(4k)之前調整且/或控制所述變形鏡像對稱于且/或同中心于所述接觸面(4k)。

4.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述變形中的至少一個變形尤其通過流體壓力加載借助于加載所述板(17u,17o)的彎曲器件(5,5')來被調整且/或被控制。

5.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述板(17u,17o)中的至少一個通過尤其呈環形地、優選呈圓環形地布置在所述接納設備(1u,1o)的周緣處、尤其地僅在所述板(17o,17u)的周緣邊緣的區域中的第一緊固器件(2)被緊固。

6.根據權利要求5所述的方法，其特征在于，所述基板(4u,4o)中的至少一個基板通過所述板(17u,17o)的尤其與所述接納設備的第一緊固器件(2)相連接的、優選類似的第二緊固器件(2')被緊固。

7.根據前述權利要求中任一項所述的方法，其特征在于，所述基板(4o,4u)中的一個基板且/或所述板(17o,17u)中的至少一個板的變形通過彎曲測量器件、尤其傳感器(3)、優選間距傳感器來鑒定。

8.用于將第一基板(4o)與第二基板(4u)在所述基板(4o,4u)的彼此面對的接觸面(4k)處接合的裝置，帶有：

- 用于接納所述第一基板(4o)的第一接納設備(1o)和用于接納所述第二基板(4u)的第二接納設備(1u)，

- 布置且/或可布置在所述第二基板(4u)與所述第二接納設備(1u)之間的板(17u)，

其特征在于，

用于所述板(17u)與所述第二基板(4u)相對所述第二接納設備(1u)的變形的彎曲改變器件在所述接合期間是可控制的。

9.根據權利要求8所述的裝置，其特征在于，在所述第一基板(4o)與所述第一接納設備(1o)之間布置有板(17o)，其中，所述第一基板(4o)與所述板(17o)在所述接合之前且/或期間相對所述第一接納設備(1o)可變形地構造。

10.根據權利要求9或10所述的裝置，其特征在于，所述第一接納設備(1o)且/或所述第二接納設備(1u)具有用于調整且/或控制所述變形的尤其機械的彎曲器件和/或流體壓力加載器件。

11.根據權利要求9或10所述的裝置，其特征在于，所述第一接納設備(1o)和/或所述第二接納設備(1u)具有用于緊固所述板(17o,17u)的尤其呈環形地布置的第一緊固器件(2)。

12.根據權利要求11所述的裝置，其特征在于，所述板中的至少一個具有用于緊固所述基板(4u,4o)的、尤其與所述接納設備(1o,1u)的第一緊固器件(2)相連接的、優選類似的第二緊固器件(2')。