[發明專利]旋轉臺用非接觸電力供給機構及方法、以及晶圓旋轉保持裝置

有效

• 申請號: 201780023774.8
• 申請日: 2017-03-29
• 公開（公告）號: CN109075117B
• 公開（公告）日: 2023-01-17
• 發明（設計）人: 土屋正人
• 申請（專利權）人: 三益半導體工業株式會社
• 主分類號: H01L21/683
• 分類號: H01L21/683;H01L21/306;H01L21/31;H02J50/12;H01L21/312;H01L21/316
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 海坤

1.一種旋轉臺用非接觸電力供給機構，其是晶圓旋轉保持裝置的旋轉臺用非接觸電力供給機構，

其中，

所述旋轉臺用非接觸電力供給機構包括：

旋轉軸；

旋轉臺，其載置于所述旋轉軸的前端且在上表面上保持晶圓；

驅動馬達，其向所述旋轉軸供給動力；

固定側初級線圈，其卷繞在所述旋轉軸的周圍；

電力供給源，其與所述固定側初級線圈連接；

旋轉臺側次級線圈，其與所述固定側初級線圈隔開規定距離地對應設置，且安裝在所述旋轉臺上；

負載，其與所述旋轉臺側次級線圈連接；以及

金屬制的遮擋板，其載置于所述旋轉臺的上表面與所述晶圓之間，

通過電磁感應，經由所述旋轉臺側次級線圈向所述負載供給電力。

2.根據權利要求1所述的旋轉臺用非接觸電力供給機構，其中，

所述負載是用于對所述旋轉臺上的晶圓實施處理的晶圓處理機構。

3.根據權利要求1或2所述的旋轉臺用非接觸電力供給機構，其中，

所述旋轉臺用非接觸電力供給機構還具備：與所述固定側初級線圈連接的第一諧振電容器；以及與所述旋轉臺側次級線圈連接的第二諧振電容器。

4.一種旋轉臺用非接觸電力供給方法，其中，

使用權利要求1至3中任一項所述的旋轉臺用非接觸電力供給機構向所述負載供給電力。

5.一種晶圓旋轉保持裝置，其中，

所述晶圓旋轉保持裝置具備權利要求1至3中任一項所述的旋轉臺用非接觸電力供給機構。

6.根據權利要求5所述的晶圓旋轉保持裝置，其中，

所述晶圓旋轉保持裝置具備旋轉處理機構。