[發(fā)明專利]流孔內(nèi)置閥以及壓力式流量控制裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780021785.2
• 申請日: 2017-07-25
• 公開（公告）號: CN109477586B
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 澤田洋平;平田薰;永瀨正明;西野功二;池田信一
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社富士金
• 主分類號: F16K1/52
• 分類號: F16K1/52;G05D7/06
• 代理公司: 11387 北京五洲洋和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙)
• 代理人: 劉春成;劉春燕

1.一種流孔內(nèi)置閥，所述流孔內(nèi)置閥為在內(nèi)部具備流孔的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，所述流孔內(nèi)置閥具備：

基部，所述基部具有上面開口的收容凹部、在所述收容凹部的壁面開口的第一氣體流路和在所述收容凹部的底面開口的第二氣體流路；

閥座體，所述閥座體具有環(huán)狀的閥座和形成于所述閥座的內(nèi)側(cè)的貫通孔；

內(nèi)盤，所述內(nèi)盤保持固定所述閥座體；

閥體，所述閥體能夠與所述閥座抵接分離；以及

流孔體，所述流孔體具有包括所述流孔的貫通孔，

所述收容凹部為具有擴(kuò)徑部和在所述擴(kuò)徑部的底面開口的狹徑部的階梯狀的凹部，在所述擴(kuò)徑部由所述閥座體、所述內(nèi)盤以及所述閥體形成閥室，在所述狹徑部插入有所述流孔體，

所述閥座體載置于所述流孔體，并通過被所述內(nèi)盤按壓而保持固定在所述流孔體上，

所述第一氣體流路經(jīng)由所述狹徑部的壁面和所述流孔體之間的空間與所述閥室連通，所述第二氣體流路經(jīng)由所述流孔體的貫通孔以及所述閥座體的貫通孔與所述閥室連通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

所述基部進(jìn)一步具有在所述收容凹部的壁面開口的第三氣體流路。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

在所述流孔體的側(cè)面設(shè)置有和所述流孔體的貫通孔連通的通路。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

在所述流孔體的側(cè)面設(shè)置有和所述流孔體的貫通孔連通的通路。

5.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

所述流孔體包括：具有貫通孔的第一金屬部件；具有貫通孔的第二金屬部件；和設(shè)置有所述流孔且由所述第一金屬部件和所述第二金屬部件夾持的流孔板，

所述第一金屬部件，在與所述第二金屬部件相對的一側(cè)具有凹部或者凸部，所述第二金屬部件具有與所述第一金屬部件的凹部或者凸部嵌合的形狀的凸部或者凹部，在所述第一金屬部件的凹部或者凸部和所述第二金屬部件的凸部或者凹部之間氣密地夾持有所述流孔板。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

在所述第一金屬部件的與所述第二金屬部件的相對面以及所述第二金屬部件的與所述第一金屬部件的相對面中的至少一方設(shè)置有環(huán)狀的突起部。

7.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

所述流孔內(nèi)置閥進(jìn)一步具備對所述流孔體和所述狹徑部的底部之間進(jìn)行密封的環(huán)狀的密封部件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

在所述流孔體的上端面形成有階差上面和形成為比所述階差上面低的階差下面；所述內(nèi)盤和所述流孔體的上端面不抵接。

9.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

所述流孔體的上端面和所述擴(kuò)徑部的底面為相同的高度。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至4中的任一項(xiàng)所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

所述內(nèi)盤載置于所述擴(kuò)徑部的底面。

11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的流孔內(nèi)置閥，其特征在于，

所述閥體為金屬隔膜，所述金屬隔膜由所述內(nèi)盤和從上方按壓所述內(nèi)盤的按壓部件夾持固定。

12.一種壓力式流量控制裝置，其特征在于，具備：控制閥、壓力傳感器、運(yùn)算控制部以及權(quán)利要求1至11中任一項(xiàng)所述的流孔內(nèi)置閥。