[發(fā)明專(zhuān)利]連續(xù)涂布裝置和連續(xù)涂布方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780018510.3
• 申請(qǐng)日: 2017-03-28
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN109070127A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-12-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 友枝哲;新井義之
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 東麗工程株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): B05C5/02
• 分類(lèi)號(hào): B05C5/02;B05C11/00;B05C11/10;B05D1/26;B05D7/00;B41J2/01;B41J11/00
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 于靖帥;喬婉

本發(fā)明的課題在于，一邊以卷對(duì)卷的方式進(jìn)行連續(xù)輸送，一邊高精度地對(duì)長(zhǎng)薄膜涂布涂布液。針對(duì)該課題，提供連續(xù)涂布裝置(10)，其連續(xù)輸送長(zhǎng)薄膜(2)并涂布規(guī)定的圖案，其中，該連續(xù)涂布裝置(10)構(gòu)成為具有：涂布輥(1)，其對(duì)長(zhǎng)薄膜(2)進(jìn)行卷繞；攝像裝置(3)，其對(duì)卷繞于涂布輥(1)的長(zhǎng)薄膜(2)上的標(biāo)記(21、23)或圖案進(jìn)行拍攝；以及涂布頭(5)，其對(duì)卷繞于涂布輥(1)的長(zhǎng)薄膜(2)涂布規(guī)定的圖案，涂布頭(5)設(shè)置在比攝像裝置(3)靠長(zhǎng)薄膜(1)的輸送方向下游側(cè)的位置。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對(duì)以卷對(duì)卷(roll to roll)的方式輸送的長(zhǎng)薄膜連續(xù)地涂布涂布液并高精度地形成電路圖案的連續(xù)涂布裝置和連續(xù)涂布方法。

背景技術(shù)

以往，為了形成電路圖案，公知有濺射、CVD、光刻等技術(shù)，但近年來(lái)，為了實(shí)現(xiàn)低成本、節(jié)能、節(jié)省資源，越來(lái)越關(guān)注使用了各種印刷技術(shù)的電路圖案的形成技術(shù)(印刷電子技術(shù))。其中，開(kāi)發(fā)出如下技術(shù)：在從噴墨噴嘴向基材滴下金屬墨液而形成了電路圖案之后，從噴墨噴嘴向基材滴下絕緣層，然后接著從噴墨噴嘴向基材滴下金屬墨液而形成電路圖案，從而形成多層的電路圖案。

并且，為了在長(zhǎng)薄膜上涂布涂布液，從生產(chǎn)效率的觀點(diǎn)出發(fā)，經(jīng)常以卷對(duì)卷的方式輸送長(zhǎng)薄膜并連續(xù)地進(jìn)行涂布。但是，在以卷對(duì)卷的方式輸送長(zhǎng)薄膜而進(jìn)行涂布的情況下，需要進(jìn)行解決了長(zhǎng)薄膜上所產(chǎn)生的變形或伸縮的涂布。

在專(zhuān)利文獻(xiàn)1中，記載了如下結(jié)構(gòu)：在將長(zhǎng)薄膜吸附于吸附載臺(tái)的狀態(tài)下進(jìn)行定位，從而不使長(zhǎng)薄膜發(fā)生變形，能夠高精度地進(jìn)行涂布。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)

專(zhuān)利文獻(xiàn)1：日本特開(kāi)2015-9951號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

但是，當(dāng)將以卷對(duì)卷的方式輸送來(lái)的長(zhǎng)薄膜暫時(shí)吸附在吸附載臺(tái)上并涂布涂布液的情況下，不是連續(xù)輸送而是變成間歇輸送，為了實(shí)現(xiàn)與干燥工序等后序工序的節(jié)拍平衡，需要設(shè)置儲(chǔ)液器等緩沖器，存在制造工序大型化的問(wèn)題。

為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明的課題在于一邊以卷對(duì)卷的方式進(jìn)行連續(xù)輸送一邊高精度地對(duì)長(zhǎng)薄膜涂布涂布液。

用于解決課題的手段

為了解決上述課題，本發(fā)明提供連續(xù)涂布裝置，其連續(xù)輸送長(zhǎng)薄膜并涂布規(guī)定的圖案，其特征在于，該連續(xù)涂布裝置具有：涂布輥，其對(duì)所述長(zhǎng)薄膜進(jìn)行卷繞；攝像裝置，其對(duì)卷繞于所述涂布輥的所述長(zhǎng)薄膜上的標(biāo)記或圖案進(jìn)行拍攝；以及涂布頭，其對(duì)卷繞于所述涂布輥的所述長(zhǎng)薄膜涂布所述規(guī)定的圖案，

所述涂布頭設(shè)置在比所述攝像裝置靠所述長(zhǎng)薄膜的輸送方向下游側(cè)的位置。

通過(guò)該結(jié)構(gòu)，能夠一邊以卷對(duì)卷的方式進(jìn)行連續(xù)輸送，一邊對(duì)長(zhǎng)薄膜高精度地涂布涂布液。

也可以是所述攝像裝置的拍攝位置與來(lái)自所述涂布頭的涂布液的著落位置之間的所述涂布輥上的長(zhǎng)度大于等于所述長(zhǎng)薄膜的所述規(guī)定的圖案的長(zhǎng)度。

通過(guò)該結(jié)構(gòu)，能夠準(zhǔn)確地計(jì)測(cè)長(zhǎng)薄膜的變形和伸縮，從而能夠高精度地涂布出規(guī)定的圖案。

也可以是在所述長(zhǎng)薄膜的輸送方向上具有多個(gè)所述涂布頭，該多個(gè)涂布頭分別沿著所述涂布輥的曲率設(shè)置，以便對(duì)卷繞于所述涂布輥的所述長(zhǎng)薄膜垂直地噴出涂布液。

通過(guò)該結(jié)構(gòu)，多個(gè)涂布頭能夠分別高精度地涂布涂布液。

也可以設(shè)置噴出循環(huán)調(diào)節(jié)部，該噴出循環(huán)調(diào)節(jié)部對(duì)所述涂布頭所噴出的涂布液著落在所述長(zhǎng)薄膜上的著落位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述噴出循環(huán)調(diào)節(jié)部根據(jù)所述攝像裝置的拍攝結(jié)果來(lái)計(jì)算所述長(zhǎng)薄膜的伸縮，從而對(duì)涂布液的噴出循環(huán)進(jìn)行調(diào)節(jié)。

通過(guò)該結(jié)構(gòu)，能夠與長(zhǎng)薄膜的伸縮對(duì)應(yīng)地進(jìn)行涂布。