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[發明專利]具有高剛度基材的反射光學元件在審

專利信息
申請號: 201780018178.0 申請日: 2017-03-16
公開(公告)號: CN108780161A 公開(公告)日: 2018-11-09
發明(設計)人: J·S·薩瑟蘭;L·G·萬博爾特;K·S·伍達得 申請(專利權)人: 康寧股份有限公司
主分類號: G02B1/02 分類號: G02B1/02;G02B5/08
代理公司: 上海專利商標事務所有限公司 31100 代理人: 高宏偉;樂洪詠
地址: 美國*** 國省代碼: 美國;US
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 精整 石墨 基材 非氧化物陶瓷 基底基材 高剛度 焊料 反射光學元件 金剛石車削 非氧化物 光學元件 基底陶瓷 石墨表面 接合 層疊件 碳化硅 碳化硼 碳化物 補充 反射 優選 制造
【權利要求書】:

1.一種光學元件,其包含:

基底基材,所述基底基材包含非氧化物陶瓷;以及

石墨層,所述石墨層與所述基底基材直接或間接接觸。

2.如權利要求1所述的光學元件,其特征在于,所述非氧化物陶瓷包含碳化物。

3.如權利要求2所述的光學元件,其特征在于,所述碳化物包含碳化硼或碳化硅。

4.如權利要求1或2所述的光學元件,其特征在于,所述非氧化物陶瓷具有至少4.0×108lbf-in/lbm的比剛度。

5.如權利要求1~4中任一項所述的光學元件,其特征在于,所述石墨層包含金剛石車削表面。

6.如權利要求1~5中任一項所述的光學元件,其特征在于,所述石墨層包含小于的rms表面粗糙度。

7.如權利要求1~6中任一項所述的光學元件,其特征在于,還包含金屬化層。

8.如權利要求7所述的光學元件,其特征在于,所述金屬化層與所述石墨層直接接觸。

9.如權利要求7所述的光學元件,其特征在于,所述金屬化層包含Si。

10.如權利要求1~9中任一項所述的光學元件,其特征在于,還包含焊料層。

11.如權利要求10所述的光學元件,其特征在于,所述焊料層包含Ti或稀土元素。

12.如權利要求10或11所述的光學元件,其特征在于,所述焊料層具有低于225℃的熔點。

13.如權利要求10~12中任一項所述的光學元件,其特征在于,所述焊料層與所述基底基材直接接觸。

14.如權利要求10~13中任一項所述的光學元件,其特征在于,還包含與所述石墨層直接接觸的第一金屬化層。

15.如權利要求14所述的光學元件,其特征在于,所述焊料層與所述第一金屬化層直接接觸。

16.如權利要求14或15所述的光學元件,其特征在于,還包含與所述基底基材直接接觸的第二金屬化層。

17.如權利要求16所述的光學元件,其特征在于,所述焊料層與所述第二金屬化層直接接觸。

18.如權利要求1~17中任一項所述的光學元件,其特征在于,還包含與所述石墨層直接接觸的金屬層。

19.如權利要求18所述的光學元件,其特征在于,所述金屬層具有金剛石車削表面。

20.如權利要求1~19中任一項所述的光學元件,其特征在于,還包含位于所述石墨層與所述基底基材之間的有機粘合劑層。

21.如權利要求1~20中任一項所述的光學元件,其特征在于,還包含位于所述石墨層上的反射層。

22.一種制造光學元件的方法,所述方法包括:

將精整層組裝件接合至基底基材組裝件,所述精整層組裝件包含石墨層,所述基底基材組裝件包含基底基材,所述基底基材包含非氧化物陶瓷。

23.如權利要求22所述的方法,其特征在于,所述非氧化物陶瓷是碳化物。

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