[發明專利]光調制器

有效

• 申請號: 201780017852.3
• 申請日: 2017-03-14
• 公開（公告）號: CN108780235B
• 公開（公告）日: 2021-12-14
• 發明（設計）人: 都筑健;川村百合子
• 申請（專利權）人: 日本電信電話株式會社
• 主分類號: G02F1/015
• 分類號: G02F1/015;G02F1/025
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 呂琳;樸秀玉

1.一種光調制器，是在基板上形成有兩組共面線路的Si光調制器，其特征在于，

各共面線路具備：

信號電極，被施加高頻信號；

第一接地電極，以夾住構成于所述基板的內部的光波導的方式配置在所述信號電極的一側；以及

第二接地電極，配置于所述信號電極的另一側，

所述光波導包含具有中央芯和其兩側的平板區域的肋波導，

所述第一接地電極通過層間連接布線而連接于所述平板區域的一方，

所述信號電極通過層間連接布線而連接于所述平板區域的另一方，

所述第一接地電極以及所述第二接地電極通過在所述基板的厚度方向從所述信號電極與所述光波導之間穿過的一個以上的布線電極而相互連接。

2.根據權利要求1所述的光調制器，其特征在于，

所述兩組共面線路的第一共面線路的第一信號電極以及第二共面線路的第二信號電極平行地構成，

所述層間連接布線是過孔。

3.根據權利要求1所述的光調制器，其特征在于，

所述兩組共面線路的第一共面線路的第一信號電極以及第二共面線路的第二信號電極平行地構成，

所述信號電極的所述層間連接布線是，在所述信號電極的長度方向連續地形成為壁狀的連續過孔、或者沿所述信號電極的長度方向配置的多個過孔，

所述光調制器構成為：在所述信號電極的至少一部分，不形成所述連續過孔或者所述多個過孔而形成間隙，穿過所述間隙，通過所述一個以上的布線電極來連接所述第一接地電極以及所述第二接地電極。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的光調制器，其特征在于，

所述一個以上的布線電極是將所述第一接地電極以及所述第二接地電極間直線連接的橋型電極。

5.根據權利要求4所述的光調制器，其特征在于，

所述橋型電極配置為：與所述第一接地電極以及所述第二接地電極垂直。

6.根據權利要求1至3中任一項所述的光調制器，其特征在于，

所述一個以上的布線電極以高頻特性不會劣化的程度與所述肋波導分離地構成。

7.根據權利要求1至3中任一項所述的光調制器，其特征在于，

所述一個以上的布線電極與肋波導分離0.6μm以上。

8.根據權利要求1至3中任一項所述的光調制器，其特征在于，

所述一個以上的布線電極是多個，各自的間隔為針對所述高頻信號的最大頻率的波長的1/2以下。

9.根據權利要求1至3中任一項所述的光調制器，其特征在于，

在觀察所述光波導的剖面時，所述肋波導在所述光波導的寬度方向由半導體的極性以及導電率不同的多個區域構成，所述兩組共面線路的各個所述肋波導中的所述多個區域的配置相同。