[發明專利]壓力式流量控制裝置有效
| 申請號： | 201780015751.2 | 申請日： | 2017-07-25 |
| 公開（公告）號： | CN109478074B | 公開（公告）日： | 2021-08-24 |
| 發明（設計）人： | 平田薰;杉田勝幸;池田信一;西野功二 | 申請（專利權）人： | 株式會社富士金 |
| 主分類號： | G05D7/06 | 分類號： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知識產權代理事務所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 劉春成;劉春燕 |
| 地址： | 日本國*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 壓力 流量 控制 裝置 | ||
1.一種壓力式流量控制裝置，其特征在于，具備：控制閥；壓力傳感器，所述壓力傳感器設置于所述控制閥的下游側；流孔內置閥，所述流孔內置閥設置于所述壓力傳感器的下游側；以及控制部，所述控制部連接到所述控制閥和所述壓力傳感器，所述壓力式流量控制裝置以基于所述壓力傳感器的輸出來控制所述控制閥的方式構成，
所述流孔內置閥具有：閥機構，所述閥機構具有用于進行流路的開閉的閥座體和閥體；驅動機構，所述驅動機構驅動所述閥機構；以及流孔部件，所述流孔部件接近于所述閥機構而設置，
具備用于檢測所述閥機構的開閉狀態的開閉檢測機構，
所述控制部以從所述開閉檢測機構接收檢測信號的方式構成，
當來自所述開閉檢測機構的所述檢測信號顯示所述流孔內置閥的關閉狀態時，無論所述壓力傳感器的輸出值為何值，所述控制部都判斷流量為零。
2.根據權利要求1所述的壓力式流量控制裝置，其特征在于，
所述閥機構包括流體作動閥，所述驅動機構包括電磁閥，所述電磁閥控制流體向所述流體作動閥的供給。
3.根據權利要求1所述的壓力式流量控制裝置，其特征在于，
所述開閉檢測機構包括限位開關，所述限位開關以與所述閥體的動作連動并產生通斷信號的方式設置。
4.根據權利要求2所述的壓力式流量控制裝置，其特征在于，
所述開閉檢測機構包括限位開關，所述限位開關以與所述閥體的動作連動并產生通斷信號的方式設置。
5.根據權利要求1至4中的任一項所述的壓力式流量控制裝置，其特征在于，
所述控制部基于來自所述壓力傳感器的輸出信號和來自所述開閉檢測機構的所述檢測信號，檢測通過所述流孔內置閥的氣體的流量。
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