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[發明專利]玻璃母材的制造方法及制造裝置在審

專利信息
申請號: 201780015252.3 申請日: 2017-04-05
公開(公告)號: CN108779011A 公開(公告)日: 2018-11-09
發明(設計)人: 大關伸男 申請(專利權)人: 株式會社藤倉
主分類號: C03B8/04 分類號: C03B8/04;C03B37/018
代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 代理人: 苗堃;金世煜
地址: 日本*** 國省代碼: 日本;JP
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 原料化合物 質量流量控制器 玻璃母材 氣化 脫氣 加壓 有機硅化合物 氣體加壓 溶解氣體 制造裝置 燃燒器 制造 燃燒
【權利要求書】:

1.一種玻璃母材的制造方法,其中,

利用加壓用氣體加壓而輸送含有有機硅化合物的液態的原料化合物,

從所述加壓后的所述原料化合物將溶解氣體脫氣,

利用質量流量控制器控制所述脫氣后的所述原料化合物的流量,

使經過所述質量流量控制器輸送的所述原料化合物氣化,

利用燃燒器使所述氣化后的所述原料化合物燃燒而生成SiO2

2.根據權利要求1所述的玻璃母材的制造方法,其中,所述溶解氣體的脫氣時,所述原料化合物的比表面積為0.75mm-1以上且所述原料化合物的真空暴露時間為18秒以上。

3.根據權利要求1或2所述的玻璃母材的制造方法,其中,所述玻璃母材為光纖母材。

4.一種玻璃母材的制造裝置,具備:

送液流路,利用加壓用氣體加壓而輸送含有有機硅化合物的液態的原料化合物;

脫氣裝置,在所述送液流路的中途,從所述加壓后的所述原料化合物將溶解氣體脫氣;

質量流量控制器,在所述送液流路的中途,控制經過所述脫氣裝置的脫氣后的所述原料化合物的流量;

氣化器,使經過所述質量流量控制器的所述原料化合物氣化;以及

燃燒器,使經過所述氣化器的氣化后的所述原料化合物燃燒而生成SiO2

5.根據權利要求4所述的玻璃母材的制造裝置,其中,在所述脫氣裝置中,所述原料化合物的比表面積為0.75mm-1以上且所述原料化合物的真空暴露時間為18秒以上。

6.根據權利要求4或5所述的玻璃母材的制造裝置,其中,所述玻璃母材為光纖母材。

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