[發明專利]相關電子材料的阻擋層

在審

• 申請號: 201780013869.1
• 申請日: 2017-02-27
• 公開（公告）號: CN108701764A
• 公開（公告）日: 2018-10-23
• 發明（設計）人: 金柏莉·蓋伊·里德;盧西恩·斯弗恩;卡洛斯·阿爾韋托·巴斯·德·阿勞約
• 申請（專利權）人: ARM有限公司
• 主分類號: H01L45/00
• 分類號: H01L45/00
• 代理公司: 北京東方億思知識產權代理有限責任公司 11258
• 代理人: 林強

本文公開的主題可以涉及相關電子開關設備，并且可以更具體地涉及在相關電子材料(620)之下和/或之上和/或周圍形成的具有各種特性的一個或多個阻擋層(615，625)。

技術領域

本文公開的主題涉及相關電子開關設備，并且可以更具體地涉及形成在相關電子材料之下和/或之上和/或周圍的具有各種特性的一個或多個阻擋層。

背景技術

例如可以在各種電子設備類型中找到集成電路設備，諸如電子開關設備。例如，存儲器和/或邏輯設備可以包括可以用在計算機、數碼相機、蜂窩電話、平板設備、個人數字助理等中的電子開關。設計者在考慮對于任何特定應用的適用性時可能感興趣的、與(諸如可以被包括在存儲器和/或邏輯設備中的)電子開關設備有關的因素可以包括例如物理尺寸、存儲密度、工作電壓、阻抗范圍和/或功耗。設計者可能感興趣的其他示例因素可以包括制造成本、制造難易度、可擴展性和/或可靠性。此外，存在對于表現出低功率和/或高速特性的存儲器和/或邏輯設備的不斷增長的需求。

附圖說明

在說明書的結論部分中特別指出并明確要求保護所要求保護的主題。然而，在結合附圖閱讀時通過參考以下詳細描述可以最好地理解操作的安排和/或方法以及其目標、特征和/或優點，其中：

圖1示出了根據實施例的包括相關電子材料的相關電子開關設備的示例的實施例的框圖；

圖2示出了根據實施例的相關電子開關的電壓與電流密度的曲線圖；

圖3是根據實施例的相關電子開關的等效電路的示意圖；

圖4a描繪了根據實施例的用于制造相關電子材料設備的示例的過程的簡化流程圖；

圖4b描繪了根據實施例的用于制造相關電子材料設備的示例的過程的簡化流程圖；

圖4c描繪了根據實施例的用于制造相關電子材料設備的示例的過程的簡化流程圖；

圖5是描繪根據實施例的相關電子材料設備的實例的一部分的剖視圖的圖示；

圖6是描繪根據實施例的示例的相關電子材料設備的部分的剖視圖的圖示，該相關電子材料設備包括阻擋層以至少部分地防止一個或多個電極的氧化和/或防止形成基本上不導電和/或非開關的界面層；

圖7描繪了根據實施例的用于制造相關電子材料設備的示例的過程的簡化流程圖，該相關電子材料設備包括一個或多個阻擋層以至少部分地防止一個或多個電極的氧化和/或防止形成基本上不導電和/或非開關的界面層；

圖8是描繪根據實施例的相關電子材料設備的示例的部分的剖視圖的圖示；

圖9是描繪根據實施例的示例的相關電子材料設備的部分的剖視圖的圖示，該相關電子材料設備包括阻擋層以至少部分地防止碳從相關電子材料的擴散；

圖10是描繪了根據實施例的示例的相關電子材料設備的部分的剖視圖的圖示，該相關電子材料設備包括阻擋層以至少部分地防止從相關電子材料的邊緣擴散出；以及

圖11描繪了根據實施例的用于制造相關電子材料設備的示例的過程的簡化流程圖，該相關電子材料設備至少部分地防止碳從相關電子材料的擴散。

具體實施方式