[發明專利]覆蓋工具

有效

• 申請號: 201780013071.7
• 申請日: 2017-02-24
• 公開（公告）號: CN108698136B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 久保隼人;兒玉芳和;伊藤博俊
• 申請（專利權）人: 京瓷株式會社
• 主分類號: B23B27/14
• 分類號: B23B27/14;C23C16/36
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 張毅群

1.一種覆蓋工具，其具備基體和位于該基體的表面的覆蓋層，

所述覆蓋層具有位于所述基體上的第一碳氮化鈦層、位于該第一碳氮化鈦層上的第二碳氮化鈦層、以及位于該第二碳氮化鈦層上的氧化鋁層，

所述第一碳氮化鈦層具有向所述氧化鋁層一側突出的多個第一突起，

所述第二碳氮化鈦層具有向所述氧化鋁層一側突出的多個第二突起，

所述第二突起的數量比所述第一突起的數量更多，

所述第一碳氮化鈦層在位于相鄰的所述第一突起之間的谷部處存在空隙，

所述第二突起位于該空隙的正上方。

2.根據權利要求1所述的覆蓋工具，其中，在與所述基體的表面正交的截面中，所述第二突起的前端角比所述第一突起的前端角更小。

3.根據權利要求1所述的覆蓋工具，其中，所述空隙存在多個，在與所述基體的表面正交的截面中，所述空隙的面積的平均值相當于直徑為32nm～100nm的圓的面積。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的覆蓋工具，其中，將所述第一碳氮化鈦層中的碳相對于碳和氮的總含量的含有比率記作第一比率，將所述第二碳氮化鈦層中的碳相對于碳和氮的總含量的含有比率記作第二比率時，所述第二比率比所述第一比率更小。

5.根據權利要求4所述的覆蓋工具，其中，所述第一比率為0.3～0.57，所述第二比率為0.27～0.51。

6.根據權利要求4所述的覆蓋工具，其中，所述第一碳氮化鈦層中的碳含量為15原子％～29原子％、且氮含量為22原子％～35原子％，

所述第二碳氮化鈦層中的碳含量為13原子％～24原子％、且氮含量為23原子％～35原子％。

7.根據權利要求1或2所述的覆蓋工具，其中，所述第一碳氮化鈦層具有平均高寬比為2以上的碳氮化鈦晶體的柱狀晶體。

8.根據權利要求1或2所述的覆蓋工具，其中，所述第一碳氮化鈦層的厚度為2μm～15μm。

9.根據權利要求1或2所述的覆蓋工具，其中，所述第二碳氮化鈦層的厚度為30nm～900nm。

10.根據權利要求1或2所述的覆蓋工具，其中，所述覆蓋層還具有位于所述第一碳氮化鈦層與所述第二碳氮化鈦層之間的第一中間層，

該第一中間層以30原子％～70原子％的比例含有鈦、以24原子％～30原子％的比例含有碳、以16原子％～23原子％的比例含有氮、以2原子％～5原子％的比例含有氧，

并且，鈦、碳、氮以及氧的合計為100原子％。

11.根據權利要求1或2所述的覆蓋工具，其中，所述覆蓋層還具有位于所述第二碳氮化鈦層與所述氧化鋁層之間的第二中間層，

該第二中間層以30原子％～70原子％的比例含有鈦、以0原子％～70原子％的比例含有碳、以0原子％～35原子％的比例含有氮、以3原子％～20原子％的比例含有氧。

12.根據權利要求11所述的覆蓋工具，其中，所述第二中間層具有向所述氧化鋁層突出的針狀晶體。

13.根據權利要求12所述的覆蓋工具，其中，所述第二中間層中的除了所述針狀晶體之外的部分的厚度為10nm～40nm。

14.根據權利要求1或2所述的覆蓋工具，其中，所述第一碳氮化鈦層和所述第二碳氮化鈦層含有氧，

存在于所述第二碳氮化鈦層中的氧含量比存在于所述第一碳氮化鈦層中的氧含量更多。