[發明專利]等離子體處理裝置有效
| 申請號： | 201780007258.6 | 申請日： | 2017-01-10 |
| 公開（公告）號： | CN108476584B | 公開（公告）日： | 2020-06-09 |
| 發明（設計）人： | 山澤陽平;古屋敦城 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | H05H1/46 | 分類號： | H05H1/46;C23C16/509;H01L21/31 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 等離子體 處理 裝置 | ||
1.一種等離子體處理裝置，具有：
處理容器；
高頻電源，其向所述處理容器供給高頻電力，來在所述處理容器的內部形成等離子體；以及
負載變動穩定化電路，其通過設置于所述高頻電源與所述處理容器之間的規定的連接部而與所述處理容器并聯連接，用于抑制從所述連接部看向下游側時的負載阻抗的變動，
其特征在于，所述負載變動穩定化電路的電抗的符號與從所述連接部看向所述處理容器側時的電抗的符號為相同符號。
2.根據權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，
所述負載變動穩定化電路的電抗的符號與從所述連接部看向所述處理容器側時的電抗的符號均為正。
3.根據權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，
所述負載變動穩定化電路的電抗處于從所述連接部看向所述處理容器側時的電抗的0.5倍到1.5倍的范圍內。
4.根據權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，
所述高頻電源為頻率可變電源，具有通過使輸出頻率變化來與所述負載阻抗之間進行匹配的功能。
5.根據權利要求4所述的等離子體處理裝置，其特征在于，
所述負載變動穩定化電路的阻抗與從所述連接部看向所述處理容器側時的負載阻抗被設定為在匹配頻率下不發生并聯諧振。
6.根據權利要求1所述的等離子體處理裝置，其特征在于，
所述負載變動穩定化電路由電容器和線圈中的至少任一方構成。
7.根據權利要求6所述的等離子體處理裝置，其特征在于，
所述負載變動穩定化電路由所述電容器和所述線圈構成，所述電容器與所述線圈串聯連接或并聯連接。
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