[發(fā)明專利]用于真空處理系統(tǒng)的供應接線導件

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201780006947.5
• 申請日: 2017-04-07
• 公開（公告）號: CN109005664A
• 公開（公告）日: 2018-12-14
• 發(fā)明（設計）人: 安德烈·布魯寧;安德烈亞斯·索爾
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: B01J3/02
• 分類號: B01J3/02;C23C14/56
• 代理公司: 北京律誠同業(yè)知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國;趙靜

描述了一種用以于處理系統(tǒng)的真空腔室中導引多條供應接線的供應接線導件(100)。供應接線導件包括導引布置(110)，導引布置(110)包括多個連接元件(115)，其中這些連接元件(115)相對于彼此可調整角度。再者，供應接線導件包括圍繞導引布置(110)設置的柔性管(120)。

技術領域

本公開內容各個實施方式涉及用于導引供應接線通過真空環(huán)境的供應接線導件(supply line guide)。具體地，本公開內容的各個實施方式涉及柔性供應接線導件，被配置用于從大氣環(huán)境導引供應接線通過處理系統(tǒng)的真空腔室至可移動處理裝置，具體是經配置用于OLED制造的材料沉積源。

背景技術

有機蒸發(fā)器為用于制造有機發(fā)光二極管(OLED)的工具。OLED為發(fā)光二極管的一種特別的形式。在OLED中，發(fā)光層包括特定的有機化合物的薄膜。有機發(fā)光二極管(OLED)用于制造電視屏幕、計算機顯示器(computer monitor)、移動電話、用于顯示信息的其他手持裝置等。OLED亦可用于一般的空間照明。OLED顯示器的可行的顏色、亮度、及視角的范圍大于傳統(tǒng)的LCD顯示器的可行的顏色、亮度、及視角的范圍，因為OLED像素直接地發(fā)光且不包含背光。因此，相較于傳統(tǒng)的LCD顯示器的能量損耗，OLED顯示器的能量損耗相當?shù)厣佟Ｔ僬撸琌LED可制造于柔性基板上的事實產生進一步的應用。

在制造此種顯示裝置中遇到了許多挑戰(zhàn)。具體地，其中一個挑戰(zhàn)是在具有持續(xù)和可靠供應的介質和功率的情況下，在真空環(huán)境中提供移動的處理裝置。舉例來說，特別是在傳統(tǒng)的供應接線導件連接至移動裝置時，傳統(tǒng)的供應接線導件在耐久性方面顯現(xiàn)出問題，這可能引起供應接線之間的摩擦和磨損，而可能最終致使供應接線損害和/或發(fā)生故障。

因此，對于提供克服傳統(tǒng)的供應接線導件的至少一些問題的改善的供應接線導件有持續(xù)的需求。

發(fā)明內容

有鑒于上述，提供如獨立權利要求1所述的一種用以于處理系統(tǒng)的真空腔室中導引多條供應接線的供應接線導件。本公開內容的其他方面、優(yōu)點、和特征通過權利要求書、說明書、和附圖更為清楚。

根據(jù)本公開內容的一個方面，提供一種用以于處理系統(tǒng)的真空腔室中導引多條供應接線的供應接線導件。供應接線導件包括導引布置(guiding arrangement)，導引布置包括多個連接元件，其中這些連接元件相對于彼此可調整角度。再者，供應接線導件包括柔性管(flexible tube)，所述柔性管圍繞導引布置設置。

根據(jù)本公開內容的另一方面，提供一種用以于處理系統(tǒng)的真空腔室中導引多條供應接線的供應接線導件。供應接線導件包括導引布置，導引布置包括多個連接環(huán)狀元件，所述多個連接環(huán)狀元件經由中央配置的接頭彼此連接，使得這些連接環(huán)狀元件相對于彼此可調整角度。這些連接環(huán)狀元件提供用于第一組供應接線的第一導管(first guidingduct)。再者，這些連接環(huán)狀元件提供用于第二組供應接線的第二導管。這些連接環(huán)狀元件包括分離元件，所述分離元件將第一導管的第一體積與第二導管的第二體積分離。供應接線導件進一步包括柔性金屬管，所述柔性金屬管圍繞導引布置設置。柔性管提供用于所述多條供應接線的氣密殼體。再者，柔性管提供彎曲半徑R_b，R_b≤500mm。

本公開內容的另一方面涉及根據(jù)本文所描述的任何實施方式的供應接線導件的用途，所述供應接線導件用于導引多條供應接線至設置于處理系統(tǒng)的真空腔室中的可移動裝置。

根據(jù)本公開內容的另一方面，提供一種處理系統(tǒng)。處理系統(tǒng)包括真空處理腔室；可移動裝置，所述可移動裝置設置于真空處理腔室中；和根據(jù)本文所描述的任何實施方式的供應接線導件，其中供應接線導件連接至可移動裝置。

附圖說明

可通過參照實施方式來詳細地理解本公開內容的上述特征，以及簡要概述于上的本公開內容更具體的說明。附圖涉及本公開內容的各個實施方式且說明于下：