[發明專利]用于慣性傳感器的微機械彈簧

有效

• 申請號: 201780006656.6
• 申請日: 2017-01-11
• 公開（公告）號: CN108463430B
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發明（設計）人: S·卡爾達諾比萊
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司 72002
• 代理人: 侯鳴慧

1.用于慣性傳感器的微機械彈簧(10)，具有：

-第一和第二彈簧元件(1、2)，所述彈簧元件相對彼此平行地布置并且錨固在所述慣性傳感器的錨固元件(20)上；和

-布置在所述第一和第二彈簧元件(1、2)之間的、錨固在所述錨固元件(20)上的第三彈簧元件(4)，該第三彈簧元件在兩個外側上具有限定數量的節狀元件(5a…5n)，所述節狀元件構造為隨著相對于錨固元件(20)的距離的增大而相對于所述第一和第二彈簧元件(1、2)限定地增大距離。

2.根據權利要求1所述的微機械彈簧(10)，其特征在于，所述第一和第二彈簧元件(1、2)在它們的端部區域上借助于連接元件(3)相互連接。

3.根據權利要求1或2所述的微機械彈簧(10)，其特征在于，在所述第一和第二彈簧元件(1、2)的外側上在兩側分別布置有至少一個節狀元件(5a…5n)。

4.慣性傳感器，具有至少一個根據權利要求1至3中任一項所述的微機械彈簧(10)。

5.用于制造用于慣性傳感器的微機械彈簧(10)的方法，所述方法具有以下步驟：

-提供第一彈簧元件(1)和第二彈簧元件(2)；

-將所述第一彈簧元件(1)和所述第二彈簧元件(2)平行地錨固在所述慣性傳感器的錨固元件(20)上；

-提供第三彈簧元件(4)并且將所述第三彈簧元件(4)錨固在所述第一和第二彈簧元件(1、2)之間，其中，在所述第三彈簧元件(4)上在兩個外側上布置有限定數量的節狀元件(5a…5n)，所述節狀元件構造為隨著相對于所述錨固元件(20)的距離的增大而相對于所述第一和第二彈簧元件(1、2)增大距離。

6.根據權利要求5所述的方法，其中，所述第一和第二彈簧元件(1、2)在它們的端部區域上與連接元件(3)連接。

7.根據權利要求5或6所述的方法，其中，這樣構造所述節狀元件(5a…5n)相對于所述第一和第二彈簧元件(1、2)的距離，使得對于所述微機械彈簧(10)在所述節狀元件(5a…5n)中的數量為1＜K＜n-1個節狀元件與所述第一和第二彈簧元件(1、2)中的一個彈簧元件接觸時產生非線性的彈性特性。

8.根據權利要求7所述的方法，其中，在所述第一和第二彈簧元件(1、2)的外側上分別構造有用于止擋到慣性傳感器的震動質量(30)上的至少一個節狀元件(5a…5n)。

9.根據權利要求1至3中任一項所述的微機械彈簧(10)在慣性傳感器中的應用。