[發(fā)明專利]用于二維地偏轉(zhuǎn)激光射束的設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201780006540.2
• 申請(qǐng)日: 2017-01-05
• 公開（公告）號(hào): CN108602662B
• 公開（公告）日: 2023-05-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: F·尤特齊;D·巴亞特;S·拉尼
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 通快瑞士股份公司
• 主分類號(hào): B81B3/00
• 分類號(hào): B81B3/00;G02B26/08
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 郭毅

1.一種用于二維地偏轉(zhuǎn)激光射束的設(shè)備(1)，所述設(shè)備具有：

襯底(4)，其具有襯底開口(5)，

設(shè)置在所述襯底(4)上的彈簧膜片(6)，所述彈簧膜片具有延伸到所述襯底開口(5)中的彈簧臂(7)以及布置在所述襯底開口(5)中的由所述彈簧臂(7)承載的中央?yún)^(qū)段(8)，所述中央?yún)^(qū)段能夠二維地傾斜，并且能夠在垂直于彈簧膜片平面延伸的彈簧膜片中央軸線(9)的兩個(gè)方向(A，B)上軸向移動(dòng)地支承，

鏡(2)，所述鏡固定在所述彈簧膜片(6)的中央?yún)^(qū)段(8)上，

磁驅(qū)動(dòng)或靜電驅(qū)動(dòng)(12)，其用于使鏡(2)逆著所述彈簧臂(7)的回復(fù)力傾斜，

其特征在于，

所述彈簧膜片(6)具有至少一個(gè)末端止擋臂(17)，所述至少一個(gè)末端止擋臂具有比所述彈簧臂(7)更高的彈簧剛性，并且所述至少一個(gè)末端止擋臂以自由端伸到所述襯底開口(5)中直至進(jìn)入到剛性地固定在所述鏡(2)上的構(gòu)件(3；22)的運(yùn)動(dòng)軌道中，以便通過與所述構(gòu)件(3；22)的共同作用，至少在軸向方向(A)上限制所述中央?yún)^(qū)段(8)的超過在所述鏡(2)的驅(qū)動(dòng)限定的傾斜的情況下的軸向偏轉(zhuǎn)的軸向偏轉(zhuǎn)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其特征在于，與所述至少一個(gè)末端止擋臂(17)共同作用的構(gòu)件(3；22)布置在所述中央?yún)^(qū)段(8)的與所述鏡(2)相對(duì)置的側(cè)上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，與所述至少一個(gè)末端止擋臂(17)共同作用的構(gòu)件是所述彈簧膜片(6)或永磁體(3)或所述磁驅(qū)動(dòng)(12)的磁體線圈(10)、靜電驅(qū)動(dòng)的電極或另一構(gòu)件(22)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的設(shè)備，其特征在于，所述另一構(gòu)件由單獨(dú)的止擋板(22)或由處于所述永磁體(3)與所述彈簧膜片(7)之間的距離保持件(14)的至少一個(gè)徑向向外伸出的突出部構(gòu)成。

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述中央?yún)^(qū)段(8)的超過在所述鏡(2)的驅(qū)動(dòng)限定的傾斜的情況下的軸向偏轉(zhuǎn)的軸向偏轉(zhuǎn)由另一末端止擋裝置(18)也在另一軸向方向(B)上限制，所述另一末端止擋裝置與剛性地固定在所述鏡(2)上的構(gòu)件(3)共同作用。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，所述另一末端止擋裝置(18)由布置在所述構(gòu)件(3)的運(yùn)動(dòng)軌道中的末端止擋件構(gòu)成。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的設(shè)備，其特征在于，在所述另一末端止擋裝置(18)與與所述另一末端止擋裝置共同作用的構(gòu)件(3；22)之間布置有阻尼器(23)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，在所述至少一個(gè)末端止擋臂(17)與與所述至少一個(gè)末端止擋臂共同作用的構(gòu)件(3；22)之間布置有阻尼器(23)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其特征在于，所述偏轉(zhuǎn)設(shè)備(1)以MEMS技術(shù)實(shí)施。