[發(fā)明專利]微小突起的體積測(cè)定方法及液體材料的涂布方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201780006528.1 | 申請(qǐng)日： | 2017-01-10 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108474648B | 公開（公告）日： | 2021-05-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 大庭博明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | NTN株式會(huì)社 |
| 主分類號(hào)： | G01B11/02 | 分類號(hào)： | G01B11/02;B05D1/26;B05D3/00;G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 31100 | 代理人： | 周蓉;張?chǎng)?/td> |
| 地址： | 日本*** | 國(guó)省代碼： | 暫無信息 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 微小 突起 體積 測(cè)定 方法 液體 材料 | ||
微小突起的體積測(cè)定方法包括如下步驟：利用白光干涉法測(cè)定微小突起的三維形狀(S102)；比較檢測(cè)出干涉光強(qiáng)度的包絡(luò)線的第一個(gè)峰值的高度與基準(zhǔn)面的高度，并提取高于基準(zhǔn)面的部分作為微小突起的突起頂點(diǎn)部(S103)；檢測(cè)提取出的突起頂點(diǎn)部的高度(S104)；檢測(cè)由突起頂點(diǎn)部和高度與基準(zhǔn)面的高度不同的部位構(gòu)成的區(qū)域中的外接四邊形的橫向尺寸、縱向尺寸、或橫向尺寸與縱向尺寸的平均的任一個(gè)來作為直徑，其中該部位包含突起頂點(diǎn)部或與突起頂點(diǎn)部接觸(S105)；以及基于突起頂點(diǎn)部的高度與直徑計(jì)算微小突起的體積(S106)。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及微小突起的體積測(cè)定方法及液體材料的涂布方法。
背景技術(shù)
已知有檢測(cè)由涂布裝置所涂布的墨水的高度的方法。例如，根據(jù)日本專利特開2015-007564號(hào)公報(bào)(專利文獻(xiàn)1)，其中記載了一種涂布裝置，將物鏡定位在通過在基板的表面涂布墨水而形成的墨水部分的上方，然后邊移動(dòng)Z載臺(tái)邊拍攝圖像。對(duì)于構(gòu)成通過拍攝而得到的圖像的多個(gè)像素中的各個(gè)像素，涂布裝置確定對(duì)比度值達(dá)到峰值的Z載臺(tái)位置，基于所確定的Z載臺(tái)位置確定墨水涂布部分的高度。
現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)
專利文獻(xiàn)1：日本專利特開2015-007564號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明所要解決的技術(shù)問題
然而，專利文獻(xiàn)1的圖7(a)、10、11的干涉光的對(duì)比度在獲得正反射光的平面等處較高，在難以獲得正反射光的斜面等處較低。
專利文獻(xiàn)1所記載的涂布機(jī)構(gòu)能涂布高粘性的墨水。在高粘性墨水的情況下，涂布墨水與基板的接觸角較大，因此無法在墨水的邊緣獲得正反射光，不會(huì)發(fā)生干涉條紋。因此，有時(shí)無法檢測(cè)高度。專利文獻(xiàn)1中所記載的體積計(jì)算公式是墨水涂布部分的高度的積分值，以能檢測(cè)整個(gè)涂布部分的高度為前提。因此，在如上所述無法檢測(cè)一部分涂布部分的高度時(shí)，難以計(jì)算體積。
一般而言，球形物體的體積Vol也可以根據(jù)下式(1)基于球形物體的半徑與頂點(diǎn)高度來計(jì)算：
Vol＝(1/6)π×hp×(3R2+hp2)…(1)
其中，hp表示頂點(diǎn)高度，R表示半徑。如上所述，在高粘性墨水的情況下，在墨水的邊緣處接觸角較大，不會(huì)發(fā)生干涉條紋，因此有時(shí)無法檢測(cè)高度。在上述情況下，無法獲得半徑R，無法根據(jù)式(1)計(jì)算出體積Vol。
如上所述，在墨水具有高粘性且不發(fā)生干涉條紋，因此無法檢測(cè)整個(gè)涂布部分的高度的情況下，無法基于該專利文獻(xiàn)所述的表示三維形狀的圖像數(shù)據(jù)來直接檢測(cè)液滴的體積。
因此，本發(fā)明的目的在于，提供一種微小突起的體積測(cè)定方法及液體材料的涂布方法，即使在液滴的邊緣無法檢測(cè)高度的情況下也能計(jì)算液滴的體積。
解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案
本發(fā)明的微小突起的體積測(cè)定方法包括如下步驟：利用白光干涉法測(cè)定微小突起的三維形狀；比較檢測(cè)出干涉光強(qiáng)度的包絡(luò)線的第一個(gè)峰值的高度與基準(zhǔn)面的高度，并提取高于基準(zhǔn)面的部分作為微小突起的突起頂點(diǎn)部；檢測(cè)提取出的突起頂點(diǎn)部的高度；檢測(cè)由突起頂點(diǎn)部和高度與基準(zhǔn)面的高度不同的部位構(gòu)成的區(qū)域中的外接四邊形的橫向尺寸、縱向尺寸、及橫向尺寸與縱向尺寸的平均中的任一個(gè)來作為直徑，其中該部位包含突起頂點(diǎn)部或與突起頂點(diǎn)部接觸；以及基于突起頂點(diǎn)部的高度與直徑計(jì)算微小突起的體積。
高度與基準(zhǔn)面的高度不同的部位優(yōu)選是包含突起頂點(diǎn)部或與突起頂點(diǎn)部接觸的高度未檢測(cè)部。
高度與基準(zhǔn)面的高度不同的部位優(yōu)選是比基準(zhǔn)面要低的高度已檢測(cè)部，所述高度已檢測(cè)部包含突起頂點(diǎn)部。
檢測(cè)高度的步驟優(yōu)選包括檢測(cè)突起頂點(diǎn)部的最大高度以作為突起頂點(diǎn)部的高度。
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