[發明專利]用于生成大氣壓等離子體的方法

有效

• 申請號: 201780004810.6
• 申請日: 2017-10-20
• 公開（公告）號: CN108369988B
• 公開（公告）日: 2021-09-28
• 發明（設計）人: F.林納;P.庫德拉;M.普夫
• 申請（專利權）人: 埃普科斯股份有限公司
• 主分類號: H01L41/107
• 分類號: H01L41/107;H01L41/053
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 姬亞東;申屠偉進

1.一種用于生成大氣壓等離子體的裝置（11），具有：

-壓電變換器（1），和

-第一支撐元件（22），壓電變換器（1）在以下位置處安置于第一支撐元件上，當壓電變換器（1）以小于其并聯諧振頻率的運行頻率運行并且壓電變換器（1）用于生成非熱大氣壓等離子體時，在所述位置上形成振蕩節點。

2.如權利要求1所述的裝置（11），其中，運行頻率和并聯諧振頻率的差處于10kHz和0.1kHz之間。

3.如權利要求1所述的裝置（11），其中，并聯諧振頻率被定義為在以下情況下壓電變換器（1）的阻抗具有最大值的那個頻率：壓電變換器（1）上施加具有頻率的交變電壓并且壓電變換器（1）不生成等離子體。

4.如權利要求1-3之一所述的裝置（11），其中，壓電變換器（1）具有輸入區域（2）和輸出區域（3），其中輸入區域（2）具有壓電變換器（1）的輸入側端面（25），所述輸入側端面遠離輸出區域（3）地指向，并且輸出區域（3）具有輸出側端面（10），所述輸出側端面遠離輸入區域（2）地指向，

其中長度L說明輸入側端面（25）至輸出側端面（10）的距離，以及

其中壓電變換器（1）安置在第一支撐元件（22）上的位置至輸入側端面（25）的距離處于（1/4）L-5.0mm和（1/4）L-0.05mm之間的范圍中。

5.如權利要求4所述的裝置（11），其中，裝置（11）具有接觸元件（13、14），所述接觸元件固定在壓電變換器（1）上并且被設計用于將交變電壓施加到輸入區域（2）上，

其中，接觸元件（13、14）固定在輸入區域（2）上的以下位置處，所述位置至輸入側端面（25）的距離與布置有第一支撐元件（22）的位置的距離一致。

6.如權利要求4所述的裝置（11），其中，輸入區域（2）被構造為將施加的交變電壓變換為機械振蕩，其中輸出區域（3）被構造用于將機械振蕩變換為電壓。

7.如權利要求1-3之一所述的裝置（11），其中，所述裝置（11）還具有第二支撐元件（23），壓電變換器（1）安置在第二支撐元件（23）上，其中壓電變換器（1）在以下位置處安置于第二支撐元件（23）上，如果壓電變換器（1）以運行頻率運行并且壓電變換器（1）被用于生成非熱大氣壓等離子體，則在所述位置處形成振蕩節點。

8.如權利要求7所述的裝置（11），其中，壓電變換器（1）安置在第二支撐元件（23）上的位置至輸入側端面（25）的距離處于（3/4）L-5.0mm和（3/4）L-0.05mm之間的范圍中。

9.如權利要求8所述的裝置（11），其中，壓電變換器（1）安置在第一支撐元件（22）上的位置至輸入側端面（25）的距離為（1/4）L-A，

其中壓電變換器（1）安置在第二支撐元件（23）上的位置至輸入側端面（25）的距離為（3/4）L-B，并且

其中BA。

10.如權利要求1-3之一所述的裝置（11），其中，第一支撐元件（22）被構造為，使得在壓電變換器（1）扭轉和拉伸時，第一支撐元件彈性形變。

11.如權利要求1-3之一所述的裝置（11），其中，第一支撐元件（22）具有選自聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚四氟乙烯、聚酰胺或者具有聚酰胺的玻璃纖維成分的材料。

12.如權利要求1-3之一所述的裝置（11），其中，第一支撐元件（22）在朝向壓電變換器（1）的方向上具有楔形變尖銳的形狀并且近似線狀地貼靠在壓電變換器（1）上。

13.如權利要求1-3之一所述的裝置（11），其中，壓電變換器（1）被構造用于，在輸出側端面（10）上生成非熱大氣壓等離子體。