[發(fā)明專利]金屬氧化物薄膜晶體管及顯示面板有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780004627.6 | 申請日: | 2017-05-31 |
| 公開(公告)號: | CN108496253B | 公開(公告)日: | 2021-07-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陳小明;趙曉輝;李春林;黃麗瑩;馬曉丹 | 申請(專利權(quán))人: | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/786 | 分類號: | H01L29/786;H01L29/417;H01L27/12 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 518115 廣東省深圳市龍崗區(qū)*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 金屬 氧化物 薄膜晶體管 顯示 面板 | ||
一種金屬氧化物薄膜晶體管(10)以及具有所述金屬氧化物薄膜晶體管(10)的顯示面板(100)。所述金屬氧化物薄膜晶體管(10),包括柵極(11)、源極(14)以及漏極(15),其中,所述源極(14)和/或漏極(15)包括至少一個通孔(22),以增加所述金屬氧化物薄膜晶體管(10)的柔韌性。
本專利文件披露的內(nèi)容包含受版權(quán)保護(hù)的材料。該版權(quán)為版權(quán)所有人所有。版權(quán)所有人不反對任何人復(fù)制專利與商標(biāo)局的官方記錄和檔案中所存在的該專利文件或該專利披露。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及應(yīng)用于顯示面板的金屬氧化物薄膜晶體管。
背景技術(shù)
柔性顯示面板的內(nèi)通常采用薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT)等半導(dǎo)體器件來作為像素單元是否接收圖像數(shù)據(jù)的開關(guān)元件以及其他導(dǎo)電電極。柔性顯示面板在使用過程中經(jīng)常在外力作用下產(chǎn)生一定程度的彎曲。
然而,薄膜晶體管中的電極以及顯示面板內(nèi)的其他導(dǎo)電電極通常采用金屬材料構(gòu)成,眾所周知,金屬材料的柔韌性較差,當(dāng)顯示面板彎曲時,薄膜晶體管中的電極以及顯示面板內(nèi)的導(dǎo)電電極較為容易產(chǎn)生裂縫甚至斷裂,繼而造成顯示面板的圖像顯示效果受到影響甚至導(dǎo)致顯示面板失效,進(jìn)而影響顯示面板的使用壽命。
發(fā)明內(nèi)容
為解決前述問題,本發(fā)明提供一種柔韌性較好的金屬氧化物薄膜晶體管。
進(jìn)一步,提供一種具有前述薄膜晶體管的顯示面板。
一種金屬氧化物薄膜晶體管,包括柵極、源極以及漏極,其中,所述源極和/或漏極包括至少一個通孔,以增加所述金屬氧化物薄膜晶體管的柔韌性。
一種顯示基板,所述顯示面板包括一柔性基板,所述柔性基板上設(shè)置有前述的金屬氧化物薄膜晶體管。
顯示面板中的導(dǎo)電電極或者薄膜晶體管中的電極具有鏤空結(jié)構(gòu),能夠有效增加顯示面板中的電極的柔韌性,防止顯示面板在彎曲過程中電極產(chǎn)生裂縫而影響顯示面板的顯示效果與壽命。
附圖說明
為了更清楚地說明本發(fā)明實施例的技術(shù)方案,下面將對實施例中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
圖1為本發(fā)明一實施例中顯示面板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為如圖1所示源極、漏極以及導(dǎo)電溝道的平面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為如1所示一變更實施例中源極、漏極以及導(dǎo)電溝道的平面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為圖1所示另一變更實施例中一導(dǎo)電電極的平面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5為本發(fā)明一變更實施例中顯示面板的側(cè)視圖。
具體實施方式
下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
本發(fā)明公開一種金屬氧化物的薄膜晶體管(Thin Film Transistor,TFT),該薄膜晶體管設(shè)置于一柔性基底上,包括柵極、源極以及漏極,其中,所述源極和/或漏極具有通孔從而形成鏤空結(jié)構(gòu)。較佳地,源極與漏極之間的導(dǎo)電溝道也具有開口并形成鏤空結(jié)構(gòu)。另外,對應(yīng)包括有前述薄膜晶體管的顯示面板中的其他導(dǎo)電電極也可以設(shè)置有通孔而構(gòu)成鏤空結(jié)構(gòu),從而有效增加薄膜晶體管與顯示面板中電極的柔韌性。
請參閱圖1,其為本發(fā)明一實施例中顯示面板的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。如圖1所示,顯示面板100包括設(shè)置于基板10a上的薄膜晶體管10。
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H01L29-40 .按其電極特征區(qū)分的
H01L29-66 .按半導(dǎo)體器件的類型區(qū)分的
H01L29-68 ..只能通過對一個不通有待整流、放大或切換的電流的電極供給電流或施加電位方可進(jìn)行控制的
H01L29-82 ..通過施加于器件的磁場變化可控的





