[發明專利]清潔裝置和柔性顯示器的制造設備

有效

• 申請號: 201780002905.4
• 申請日: 2017-05-03
• 公開（公告）號: CN108136446B
• 公開（公告）日: 2021-03-23
• 發明（設計）人: 周啟豪;葉昱均
• 申請（專利權）人: 深圳市柔宇科技有限公司
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B1/02;B08B3/08;H01L51/56
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種清潔裝置，用于清潔器件基板，所述器件基板包括基板和設置在所述基板上表面的器件薄膜，其特征在于，所述清潔裝置包括：

容置槽，所述容置槽用于存儲清潔劑；和

設置在所述容置槽中的濕式滾刷，所述濕式滾刷用于利用所述容置槽中的清潔劑清潔所述基板的下表面；

干式滾刷，所述干式滾刷用于清潔所述器件薄膜；

驅動裝置，所述驅動裝置連接所述濕式滾刷和所述干式滾刷，并用于驅動所述濕式滾刷脫離所述容置槽并轉動以清潔所述基板的下表面，及用于驅動所述干式滾刷轉動以清潔所述器件薄膜；

所述清潔裝置包括固定部件，所述固定部件包括固定氣孔，所述固定氣孔用于吸附所述器件基板以固定所述器件基板。

2.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置包括傳送部件，所述傳送部件用于傳送所述器件基板至設定位置，所述驅動裝置用于在所述器件基板位于所述設定位置時，驅動脫離所述容置槽的所述濕式滾刷轉動以清潔所述基板的下表面，及驅動所述干式滾刷轉動以清潔所述器件薄膜。

3.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述固定部件包括抽濕氣孔，所述抽濕氣孔用于抽離環境中的水汽。

4.如權利要求3所述的清潔裝置，其特征在于，在所述固定氣孔吸附所述器件基板時，所述抽濕氣孔與所述器件基板間隔。

5.如權利要求3所述的清潔裝置，其特征在于，所述固定氣孔和所述抽濕氣孔交替設置。

6.如權利要求2所述的清潔裝置，其特征在于，所述清潔裝置包括用于固定所述器件基板的固定部件，所述固定部件包括固定部移動機構，所述固定部移動機構用于上升所述固定部件以使得所述器件基板脫離所述傳送部件。

7.如權利要求1所述的清潔裝置，其特征在于，所述驅動裝置包括滾刷移動機構、第一導軌和第二導軌，所述干式滾刷和所述濕式滾刷能夠移動地設置在所述第一導軌上，所述第一導軌能夠移動地設置在所述第二導軌上，所述滾刷移動機構用于驅動所述濕式滾刷和所述干式滾刷沿所述第一導軌相對所述器件基板運動，和用于驅動所述第一導軌在所述第二導軌上來回運動，所述第一導軌和所述第二導軌不平行。

8.如權利要求7所述的清潔裝置，其特征在于，所述第一導軌和所述第二導軌垂直。

9.如權利要求7所述的清潔裝置，其特征在于，所述滾刷移動機構用于驅動所述干式滾刷和所述濕式滾刷夾持所述器件基板。

10.如權利要求9所述的清潔裝置，其特征在于，所述滾刷移動機構包括氣缸和比例閥，所述氣缸連接所述比例閥和所述第一導軌，所述滾刷移動機構通過所述比例閥調整所述氣缸的壓力大小來控制所述干式滾刷和所述濕式滾刷夾持所述器件基板的力度。

11.一種柔性顯示器的制造設備，其特征在于，包括權利要求1-10任意一項所述的清潔裝置。

12.如權利要求11所述的制造設備，其特征在于，所述制造設備包括剝離裝置，所述剝離裝置用于將清潔后的所述基板從所述器件薄膜上剝離。

13.如權利要求12所述的制造設備，其特征在于，所述剝離裝置包括激光剝離裝置。