[發明專利]靜電電容式換能器及聲音傳感器

有效

• 申請號: 201780002680.2
• 申請日: 2017-01-31
• 公開（公告）號: CN107852559B
• 公開（公告）日: 2020-10-16
• 發明（設計）人: 笠井隆;桃谷幸志;寺阪麻理子
• 申請（專利權）人: 歐姆龍株式會社
• 主分類號: H04R19/04
• 分類號: H04R19/04;B81B3/00;H01L29/84
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 樸淵

1.一種靜電電容式換能器，其具備：

基板，其表面具有開口；

背板，其以與所述基板的開口對置的方式配設；

振動電極膜，其以與所述背板之間隔著空隙與該背板對置的方式配設，

所述靜電電容式換能器將所述振動電極膜的變形轉換為該振動電極膜和所述背板之間的靜電電容的變化，

所述靜電電容式換能器的特征在于，還具備：

壓力釋放孔，其是設置于所述振動電極膜的貫通孔；

凸狀部分，其采用與所述背板相同的部件與所述背板一體地設置，在所述振動電極膜變形前的狀態下進入所述壓力釋放孔；

壓力釋放流路，其是由所述壓力釋放孔和所述凸狀部分的間隙形成的空氣流路，

所述凸狀部分在該凸狀部分的所述背板側的規定區域具有截面積減小部，與該凸狀部分的比該規定區域靠所述振動電極膜側的區域相比，所述截面積減小部在與所述背板平行的方向的截面的截面積小，

所述凸狀部分具有以所述截面積隨著接近所述背板而減小的方式變化的錐形。

2.如權利要求1所述的靜電電容式換能器，其特征在于，

在所述凸狀部分形成從側面的中途在所述背板側開口的開口部和貫通該開口部和所述背板的上側的空間。

3.如權利要求2所述的靜電電容式換能器，其特征在于，

在所述背板及所述振動電極膜中的至少一方設置有在所述振動電極膜向該背板側位移時與所述背板及所述振動電極膜中的另一方抵接的阻擋部，

所述凸狀部分中的所述空間在與所述背板垂直的方向上的深度，比所述阻擋部的高度和所述振動電極膜的膜厚的總和值大。

4.如權利要求2或3所述的靜電電容式換能器，其特征在于，

從與所述背板垂直的方向觀察，所述空間具有圓形的形狀。

5.一種聲音傳感器，其具有權利要求1～4中任一項所述的靜電電容式換能器，將聲壓轉換為所述振動電極膜和所述背板之間的靜電電容的變化來進行檢測。