[發明專利]熱?電磁波轉換結構、熱?電磁波轉換構件、波長選擇性散熱設備、波長選擇性加熱設備、波長選擇性散熱方法、波長選擇性加熱方法以及熱?電磁波轉換結構的制造方法

在審

• 申請號: 201780001294.1
• 申請日: 2017-04-11
• 公開（公告）號: CN107534028A
• 公開（公告）日: 2018-01-02
• 發明（設計）人: 繩田晃史;粟屋信義;谷口大介;田中覺
• 申請（專利權）人: SCIVAX株式會社
• 主分類號: H01L23/36
• 分類號: H01L23/36;B82Y30/00
• 代理公司: 北京信慧永光知識產權代理有限責任公司11290
• 代理人: 周善來,王玉玲

1.一種熱-電磁波轉換結構，互相轉換熱與規定波長λ的電磁波，其特征為，

具有由透過所述電磁波的芯部與由金屬構成且圍住所述芯部的包層部所構成的波導路，

所述波導路形成為具有通過所述電磁波可形成駐波的長度。

2.根據權利要求1所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述波導路形成為具有所述電磁波波長λ的1/10以下的寬度。

3.根據權利要求1所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述波導路形成為具有小于1μm的寬度。

4.根據權利要求1至3中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述波導路呈在兩端具有可透過所述電磁波的開口部的結構。

5.根據權利要求4所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，具有由凹部與凸部構成的凹凸結構，在所述凸部以及其下方具有構成所述芯部與所述包層部的層狀結構。

6.根據權利要求5所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，在所述凸部以及其下方具有由所述芯部與所述包層部所構成的多個層狀結構。

7.根據權利要求6所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述多個層狀結構構成不同長度的多個波導路。

8.根據權利要求5至7中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述凹部以能夠防止不希望轉換的電磁波透過的寬度形成。

9.根據權利要求5至8中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，在所述芯部與所述包層部之間具有用于提高貼緊性的中間層。

10.根據權利要求1至3中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述波導路呈在一端具有可透過所述電磁波的開口部的結構。

11.根據權利要求10所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述波導路呈由構成所述芯部的凹部與構成所述包層部的凸部所構成的凹凸結構。

12.根據權利要求11所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述凹部以能夠防止不希望轉換的電磁波透過的寬度形成。

13.根據權利要求11所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述凹凸結構是線與間隙狀結構。

14.根據權利要求1至13中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述波導路被調節成所述規定波長λ為0.75μm以上的長度。

15.根據權利要求2至9中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構，其特征為，所述芯部由硅或氧化硅所構成。

16.一種熱-電磁波轉換構件，其特征為，具有多個上述權利要求1至15中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構。

17.一種熱-電磁波轉換構件，其特征為，具有2種以上不同波導路長度的上述權利要求1至15中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構。

18.一種波長選擇性散熱設備，由發熱源，與由具有特定電磁波透過波長域的材料構成且覆蓋所述發熱源的被覆構件，與將所述發熱源的熱轉換為所述電磁波透過波長域的電磁波的熱-電磁波轉換構件所構成，其特征為，

所述熱-電磁波轉換構件具有多個權利要求1至15中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構，配置在所述發熱源與所述被覆構件之間。

19.一種波長選擇性加熱設備，向具有特定電磁波吸收波長域的材料照射該電磁波吸收波長域的電磁波而進行加熱，其特征為，

具備：具有多個權利要求1至15中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構的熱-電磁波轉換構件；

及向所述熱-電磁波轉換構件供給能量的能量供給源。

20.一種波長選擇性散熱方法，其特征為，

在發熱源被由具有特定電磁波透過波長域的材料構成的被覆構件所覆蓋的設備中，在所述發熱源與所述被覆構件之間配置權利要求1至15中任意1項所述的熱-電磁波轉換結構，

通過所述熱-電磁波轉換結構將來自所述發熱源的熱能轉換為所述電磁波透過波長域的電磁波，

向所述被覆構件放射所述電磁波。