[實用新型]一種延長脈沖式激光脈沖寬度的光路結構

有效

• 申請號: 201721925284.0
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207677240U
• 公開（公告）日: 2018-07-31
• 發明（設計）人: 張曉輝;潘太發;杜枘;李海橋;尹建剛;高云峰
• 申請（專利權）人: 大族激光科技產業集團股份有限公司
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00;H01S3/10;H01S3/105
• 代理公司: 深圳市道臻知識產權代理有限公司 44360
• 代理人: 陳琳;陳嘉琪

本實用新型涉及激光領域，具體涉及一種延長脈沖式激光脈沖寬度的光路結構。包括：脈沖式激光器、分光片、反光組件和補償片；所述脈沖式激光器發射激光光束并入射至分光片，部分激光光束經過分光片向外射出，部分激光光束經過分光片并分光至反光組件，通過反光組件的反射再經過補償片并入射回分光片，且再次經過分光片向外射出以及分光至反光組件。本實用新型通過設計一種延長脈沖式激光脈沖寬度的光路結構，利用延時效應和光學原理降低脈沖峰值要的同時延長脈沖寬度，可根據工藝需求調節反光組件的兩鏡片的距離來控制脈沖峰值和脈沖寬度的范圍。

技術領域

本實用新型涉及激光領域，具體涉及一種延長脈沖式激光脈沖寬度的光路結構。

背景技術

激光的脈沖寬度，通常是指激光功率維持在一定值時所持續的時間。不同的激光器，其脈沖寬度可以在很大范圍內變化，常見的有準連續激光器,脈寬在幾十上百個微秒左右，調Q脈沖激光器,脈寬在ns量級,鎖模脈寬在ps,fs甚至更短,顯然脈寬越短,它包含的頻譜分量就越豐富。

目前，根據設備需求和技術方面的原因，對激光脈沖寬度的要求各不相同。如對激光焊接而言，所需激光脈沖寬度不宜太長，否則會影響產品良率。而對于激光退火技術，所需激光脈沖寬度需較長且脈沖峰值不太高。根據需求不同，市面上現有一些設備用于控制激光脈沖寬度，或縮短或延長。

在縮短激光脈沖寬度領域，已有激光調Q技術；在延長激光脈沖寬度領域，現有一些裝置和技術，如一種“利用固體倍頻激光器倍頻激光同時輸出的泵浦激光，聚焦后在空氣和銅靶上產生等離子體，控制倍頻激光的脈寬，可使激光連續可調且保持穩定”。

對于準分子激光設備的納秒激光而言，需要一種通用性更廣且更加簡單易操作的脈沖寬度延長裝置。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題在于，針對現有技術的上述缺陷，提供一種延長脈沖式激光脈沖寬度的光路結構，解決現有缺少通用性更廣且更加簡單易操作的脈沖寬度延長裝置的問題。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：提供一種延長脈沖式激光脈沖寬度的光路結構，包括：脈沖式激光器、分光片、反光組件和補償片；所述脈沖式激光器發射激光光束并入射至分光片，部分激光光束經過分光片向外射出，部分激光光束經過分光片并分光至反光組件，通過反光組件的反射再經過補償片并入射回分光片，且再次經過分光片向外射出以及分光至反光組件。

其中，較佳方案是：所述脈沖式激光器為準分子激光器，并發射出納秒級激光光束。

其中，較佳方案是：所述反光組件包括設置在兩側的第一反光鏡片和第二反光鏡片，所述分光片的分光方向朝向第一反光鏡片設置；其中，所述激光光束通過分光片分光至第一反光鏡片的第一反光位置，并依次反射經過第二反光鏡片的第二反光位置、第一反光鏡片的第二反光位置、第二反光鏡片的第一反光位置、補償片，入射至分光片。

其中，較佳方案是：所述第一反光鏡片和第二反光鏡片平行設置，兩者的間距與射出光路結構的激光光束的脈沖寬度相匹配。

其中，較佳方案是：所述分光片的設置在第一反光鏡片和第二反光鏡片之間，且與水平面呈135°。

其中，較佳方案是：所述補償片設置在第二反光鏡片與分光片之間，且與水平面呈45°。

其中，較佳方案是：所述補償片與分光片的位置相對于垂直方向呈1＇20＂的夾角。

其中，較佳方案是：所述分光片位于第一反光鏡片的第一反光位置的正上方，所述補償片位于第二反光鏡片的第一反光位置的正上方，所述第一反光鏡片的第二反光位置和第二反光鏡片的第二反光位置處于同一垂直線上，所述激光光束通過分光片垂直分光至第一反光鏡片的第一反光位置，并依次反射經過第二反光鏡片的第二反光位置、第一反光鏡片的第二反光位置、第二反光鏡片的第一反光位置、補償片，入射至分光片。