[實用新型]晶圓掛具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721923891.3
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207852641U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發(fā)明（設計）人: 王振榮;黃利松;劉紅兵
• 申請（專利權）人: 上海新陽半導體材料股份有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 上海脫穎律師事務所 31259
• 代理人: 李強;倪嘉慧

1.晶圓掛具，其特征在于，包括：掛板、底座和上蓋，所述底座設置在所述掛板上，所述底座的上表面用于放置待加工的晶圓；所述上蓋設置有通孔；所述上蓋蓋在所述底座上并可自所述底座上移開地設置；所述上蓋與所述底座夾持晶圓，晶圓自所述通孔處外露。

2.根據(jù)權利要求1所述的晶圓掛具，其特征在于，所述的底座與掛板之間設置彈性復位裝置，所述底座受壓時使得彈性復位裝置產(chǎn)生彈性形變力，彈性形變力為晶圓提供緩沖力并具有使所述底座復位的趨勢。

3.根據(jù)權利要求2所述的晶圓掛具，其特征在于，所述彈性復位裝置數(shù)目為多個，均勻分布于底座與所述掛板之間。

4.根據(jù)權利要求2或3所述的晶圓掛具，其特征在于，所述彈性復位裝置為彈簧或橡膠柱、橡膠墊。

5.根據(jù)權利要求1所述的晶圓掛具，其特征在于，所述的底座為圓柱形形狀，所述底座的上表面設置有多個凹槽。

6.根據(jù)權利要求4所述的晶圓掛具，其特征在于，所述底座的側表面設置有第一容置槽，所述第一容置槽內設置第一密封圈，所述第一密封圈突出于所述側表面。

7.根據(jù)權利要求1所述的晶圓掛具，其特征在于，所述底座為圓柱狀；所述上蓋為圓環(huán)狀；所述上蓋形狀與所述底座形狀相適應；所述上蓋套在所述底座上并可自所述底座上移開地設置，所述上蓋覆蓋所述底座的上表面一部分。

8.根據(jù)權利要求1或7所述的晶圓掛具，其特征在于，所述的上蓋設置有第二容置槽，所述通孔與所述第二容置槽連通；所述上蓋蓋在所述底座上時，所述底座部分插入所述第二容置槽內。

9.根據(jù)權利要求8所述的晶圓掛具，其特征在于，所述上蓋上設置有彈片；所述彈片位于所述第二容置槽內并向所述通孔方向延伸設置；自所述通孔的徑向方向，所述彈片延伸至通孔內。

10.根據(jù)權利要求9所述的晶圓掛具，其特征在于，所述第二容置槽內還設置有襯環(huán)；所述彈片一端被夾持于所述襯環(huán)與所述上蓋之間。

11.根據(jù)權利要求10所述的晶圓掛具，其特征在于，所述彈片包括圓弧狀基片和齒狀片；每片所述圓弧狀基片上設置有多個齒狀片，所述圓弧狀基片夾持于所述襯環(huán)與所述上蓋之間；所述齒狀片自所述基片向所述通孔方向延伸至通孔內。

12.根據(jù)權利要求10所述的晶圓掛具，其特征在于，所述襯環(huán)與所述上蓋之間設置有第二密封圈。

13.根據(jù)權利要求10所述的晶圓掛具，其特征在于，所述襯環(huán)與所述底座相對的表面為斜面；所述斜面自所述襯環(huán)下端起向上延伸；所述襯環(huán)下端相比上端距離所述底座側表面更遠。

14.根據(jù)權利要求1所述的晶圓掛具，其特征在于，所述掛板上設置有沉孔，所述底座下表面設置有臺階；所述臺階面上設置有襯板，所述襯板與所述底座和所述掛板同時連接。

15.根據(jù)權利要求14所述的晶圓掛具，其特征在于，所述襯板為環(huán)狀，所述襯板與所述底座通過銷子連接，所述襯板與所述掛板通過連接件連接。

16.根據(jù)權利要求1所述的晶圓掛具，其特征在于，所述上蓋通過銷軸可轉動地設置在所述掛板上，所述銷軸位于所述底座一側。

17.根據(jù)權利要求1所述的晶圓掛具，其特征在于，所述底座及所述上蓋數(shù)目均為多個，間隔分布在所述掛板的一個表面或兩個表面上。