[實用新型]在線槽式制絨上料機

有效

• 申請號: 201721919916.2
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207909900U
• 公開（公告）日: 2018-09-25
• 發明（設計）人: 董曉清;周波
• 申請（專利權）人: 無錫市江松科技有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/677
• 代理公司: 無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260
• 代理人: 張歡勇

1.一種在線槽式制絨上料機，其特征在于：包括導片盒以及運載導片盒的輸送軌道，導片盒中存儲有硅片，在運載導片盒的輸送軌道一側設置有硅片運載皮帶，在硅片運載皮帶的端部設置有上下滑軌，上下滑軌上設置有可上下滑動的花籃夾持裝置，在硅片運載皮帶的正下方還設置有空花籃輸送軌道，空花籃輸送軌道的延長線上還設置載片花籃輸送軌道，載片花籃輸送軌道的端部設置有花籃翻轉機構，在花籃翻轉機構上方還設置有水平滑軌，水平滑軌上設置有花籃機械手用于夾取花籃，在運載導片盒的輸送軌道上方設置有吸盤組件用于將導片盒中的硅片運載到硅片運載皮帶上。

2.根據權利要求1所述的在線槽式制絨上料機,其特征在于：所述吸盤組件包括兩個水平設置的絲杠模組，絲杠模組上均設置有滑塊，每個滑塊上設置有三個吸盤，吸盤所在直線與運載導片盒的輸送軌道平行設置，且吸盤間距與導片盒的間距相同。

3.根據權利要求2所述的在線槽式制絨上料機,其特征在于：花籃翻轉機構包括豎直的支架、花籃夾持組件以及翻轉電機，翻轉電機設置在支架的上端部，花籃夾持組件上固定有一個轉動部件，該轉動部件由翻轉電機轉軸帶動轉動，該轉動部件的底面為與支架頂面貼合，側面呈與翻轉電機轉軸同軸心設置的半圓形型，在支架的頂部設置有限位塊，花籃夾持組件的底部設置有與限位塊活動接觸的定位塊，在花籃夾持組件處于豎直狀態時，定位塊的下表面與限位塊的上表面呈90°夾角。

4.根據權利要求3所述的在線槽式制絨上料機,其特征在于：所述導片盒的底部設置有定位孔，在運載導片盒的輸送軌道上設置有可升降的與定位孔相配合的定位柱。

5.根據權利要求4所述的在線槽式制絨上料機,其特征在于：所述硅片運載皮帶上還設置有可升降的緩存盒，緩存盒內設置有多個硅片槽。