[實用新型]石墨舟裝片機構有效

申請號：	201721919629.1	申請日：	2017-12-29
公開（公告）號：	CN207909850U	公開（公告）日：	2018-09-25
發明（設計）人：	邱其偉;董曉清	申請（專利權）人：	無錫市江松科技有限公司
主分類號：	H01L21/677	分類號：	H01L21/677;H01L31/18
代理公司：	無錫市匯誠永信專利代理事務所(普通合伙) 32260	代理人：	張歡勇
地址：	214028 江蘇省無錫市無***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	硅片運載軌道六軸機械手緩存機構石墨舟收料盒本實用新型裝片機構工作效率硅片裝載減少設備距離相等前后移動吸盤組件機械手歸位取片絲杠底座運載自動化阻礙
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【權利要求書】：

1.一種石墨舟裝片機構，其特征在于：包括四個硅片運載軌道，每個硅片運載軌道的一端設置有硅片緩存機構，且伸入該硅片緩存機構中將硅片運載至硅片緩存機構中，硅片運載軌道的端部外側還設置與之垂直的石墨舟軌道以及石墨舟，在石墨舟軌道的外側還設置有一個六軸機械手，六軸機械手的端部設有吸盤組件，所述硅片運載軌道互相平行且端部對齊，所述六軸機械手的底座到外側的兩個硅片運載軌道的距離相等，其到內側的兩個硅片運載軌道的距離也相同，硅片緩存機構內設置有個多個硅片槽用于放置硅片，所述吸盤組件上設置與若干個吸盤，吸盤的間距與硅片緩存機構內的硅片槽的間距相同，且吸盤可伸入硅片槽中用于吸附硅片，位于外側的兩個硅片運載軌道上的硅片緩存機構可延硅片運載軌道方向前后移動設置。

2.根據權利要求1所述的石墨舟裝片機構，其特征在于：位于外側兩個硅片運載軌道上的硅片緩存機構包括豎直導軌以及可在豎直導軌上進行上下滑動的底座，在底座上設置有水平滑軌以及收料盒，收料盒可在絲杠作用下沿水平滑軌滑動，收料盒中設置有硅片槽用于緩存硅片。

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