[實用新型]快速拉制單晶的裝置有效
| 申請號： | 201721918894.8 | 申請日： | 2017-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN208201169U | 公開（公告）日： | 2018-12-07 |
| 發明（設計）人： | 曾國偉;喬曉東 | 申請（專利權）人： | 嘉興耐進新材料有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/10 | 分類號： | C30B15/10;C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227 | 代理人： | 周兵 |
| 地址： | 314100 浙江省嘉興*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 冷水內膽 熱屏 坩堝 單晶棒 供水設備 拉制 保護板 單晶 貼附 縮短生產周期 本實用新型 單位能耗 供應冷水 晶體生產 生產效率 溫度梯度 硅熔液 硅原料 冷卻水 內凹陷 隔熱 對拉 爐體 通孔 連通 冷卻 體內 容納 生產 | ||
【權利要求書】：
1.快速拉制單晶的裝置，包括爐體，爐體內設有可容納硅原料的坩堝，其特征在于：坩堝上方設有熱屏外套，由熱屏外套對坩堝進行隔熱，熱屏外套中部具有供單晶棒通過的通孔，熱屏外套上設有冷水內膽，冷水內膽通過管路與供水設備連通，由供水設備向冷水內膽供應冷水，由冷水內膽對拉出的單晶棒進行冷卻。
2.根據權利要求1所述的快速拉制單晶的裝置，其特征在于：冷水內膽上設有保護板，保護板貼附于冷水內膽內側，以防止硅熔液濺到冷水內膽上。
3.根據權利要求1所述的快速拉制單晶的裝置，其特征在于：熱屏外套向坩堝內凹陷，冷水內膽貼附于熱屏外套內側。
4.根據權利要求1所述的快速拉制單晶的裝置，其特征在于：爐體內壁設有保溫層，坩堝外壁設有加熱器，由加熱器對坩堝內的硅原料進行加熱。
5.根據權利要求1所述的快速拉制單晶的裝置，其特征在于：坩堝底部設有堝托，堝托底端從爐體底部伸出。
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