[實用新型]一種新型磁控濺射鍍膜遮罩板

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201721907352.0
• 申請日: 2017-12-30
• 公開（公告）號: CN207958487U
• 公開（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王策;劉小雨;蔣卓睿;張寬翔;陳濤;王云飛
• 申請（專利權(quán)）人: 凱盛光伏材料有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 安徽省蚌埠博源專利商標(biāo)事務(wù)所 34113
• 代理人: 楊晉弘

本實用新型提供一種新型磁控濺射鍍膜遮罩板，它包括橫向板（1），在橫向板（1）一側(cè)設(shè)有第一縱向板（2），在第一縱向板（2）設(shè)有與磁控濺射設(shè)備的機(jī)架對應(yīng)配合的螺孔（2a）以及螺栓（2b）,其特征在于：在所述的橫向板（1）另一側(cè)設(shè)有第二縱向板（3），在第二縱向板（3）設(shè)有與磁控濺射設(shè)備的機(jī)架對應(yīng)配合的螺孔（3a）。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、便于在現(xiàn)有設(shè)備上改造，且改造費用低廉，有效的降低了產(chǎn)品的制造成本，增強(qiáng)企業(yè)的競爭力。

技術(shù)領(lǐng)域：

本實用新型涉及磁控濺射設(shè)備領(lǐng)域，具體地說就是一種新型磁控濺射鍍膜遮罩板。

背景技術(shù)：

磁控濺射是物理氣相沉積的(Physical Vapor Deposition, PVD)的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料，且具有設(shè)備簡單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點，而上世紀(jì)70年代發(fā)展起來的磁控濺射法更是實現(xiàn)高速、低溫、低損失。因為是在低溫下進(jìn)行高速濺射，必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場，利用磁場對電子的束縛來提高等離子體密度以增加濺射率。

膜層的均勻性是一個相當(dāng)重要的性能指標(biāo)，被氫離子濺射出的靶材原子,遵從一定的角分布。也就是所有飛出的原子并非是完全沿著靶面的法線方向,而是沿任何一個方向都存在一定的幾率。濺射出的原子的角分布所遵從的統(tǒng)計規(guī)律,按照濺射的蒸發(fā)理論所提出的余弦分布可以作為一種模型,而濺射鍍膜，更多的情況下濺射出的原子的角分布不完全遵從余弦規(guī)律，為了改善薄膜的均勻性，經(jīng)常使用遮罩板來控制。

如圖1所示，將陰極4與靶材5位于一對遮罩板的橫向板上側(cè)，而基片6位于橫向板下側(cè)，在靶材5與基片6之間設(shè)有等離子體7。在鍍膜過程中，膜層除了沉積在基片上以外，同時也沉積在遮罩板的上表面上，隨著膜層沉積越來越多，遮罩板上的膜層越來越厚，膜層的附著力會越來越差，這樣遮罩板需要及時去進(jìn)行表面處理，把其沉積膜層去掉，其處理過程也是一個比較復(fù)雜的過程，如常規(guī)的遮罩板處理過程：分解遮罩板--->硝酸浸泡--->超高壓洗--->純水浸泡--->預(yù)干燥--->噴砂--->去毛刺--->熔射（如客戶需要）---->檢查矯正--->檢測--->高壓水洗--->純水超聲波清洗---->無塵室干燥--->檢測--->真空包裝。因此，遮罩板的處理費用也較高，這也就增加了生產(chǎn)的成本。

因此，如何在現(xiàn)有的設(shè)備上，延長遮罩板的更換時間同時又不影響產(chǎn)品的質(zhì)量，從而實現(xiàn)降低產(chǎn)品成本，進(jìn)而提高企業(yè)的競爭力，成為了企業(yè)技術(shù)工作者所面臨的問題。

實用新型內(nèi)容：

本實用新型就是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種新型磁控濺射鍍膜遮罩板。

本實用新型提供以下技術(shù)方案：

一種新型磁控濺射鍍膜遮罩板，它包括橫向板，在橫向板端部的一側(cè)設(shè)有第一縱向板，在第一縱向板設(shè)有第一螺孔，設(shè)置螺栓通過螺栓將第一縱向板與磁控濺射設(shè)備的機(jī)架連接在一起,其特征在于：在所述的橫向板端部的另一側(cè)設(shè)有第二縱向板，在第二縱向板設(shè)有與磁控濺射設(shè)備的機(jī)架對應(yīng)配合的第二螺孔。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，還可以有以下進(jìn)一步的技術(shù)方案：

所述的第一縱向板和第二縱向板為對稱分布，且均與橫向板板面垂直。

所述的第一縱向板和第二縱向板為分體制成或一體制成結(jié)構(gòu)。

實用新型優(yōu)點：

本實用新型結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、便于在現(xiàn)有設(shè)備上改造，且改造費用低廉，

有效的降低了產(chǎn)品的制造成本，增強(qiáng)企業(yè)的競爭力。

附圖說明：