[實(shí)用新型]腔內(nèi)合束多波長(zhǎng)輸出激光器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201721905549.0
• 申請(qǐng)日: 2017-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN207719584U
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-08-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉友強(qiáng);謝文君;曹銀花;李景;張曉寧;邱運(yùn)濤;秦文斌;王智勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京工業(yè)大學(xué)
• 主分類號(hào): H01S3/10
• 分類號(hào): H01S3/10;H01S3/105
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;李相雨

本實(shí)用新型提供了一種多波長(zhǎng)輸出激光器，包括：至少兩個(gè)諧振腔單元，所有諧振腔單元共用一輸出腔鏡；輸出腔鏡設(shè)置在任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向上；激光器中除任一諧振腔單元外的每一諧振腔單元內(nèi)均設(shè)置有波長(zhǎng)合束鏡，激光器中的所有波長(zhǎng)合束鏡均設(shè)置在任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向上，每一波長(zhǎng)合束鏡均用于將所處的諧振腔單元內(nèi)的光束與任一諧振腔單元內(nèi)的光束進(jìn)行合束，合束后的光束傳輸方向與任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向重合。本實(shí)用新型提供的共用輸出腔鏡的腔內(nèi)合束多波長(zhǎng)輸出激光器克服了腔外合束指向性調(diào)整難度大，光束質(zhì)量差，遠(yuǎn)距離光斑重合性差等問(wèn)題，可以實(shí)現(xiàn)輸出的各個(gè)波長(zhǎng)的激光具有完全相同的指向性，且光束質(zhì)量好。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及光學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地，涉及腔內(nèi)合束多波長(zhǎng)輸出激光器。

背景技術(shù)

波長(zhǎng)合束是將兩個(gè)或兩個(gè)以上不同波長(zhǎng)的光束合成一束，得到和單束光光束質(zhì)量相當(dāng)、亮度提高數(shù)倍的激光輸出，這種對(duì)波長(zhǎng)的開(kāi)放性，使得波長(zhǎng)合束技術(shù)逐漸成為研究熱點(diǎn)，并取得了一些較大的突破，輸出功率達(dá)到了數(shù)千瓦級(jí)。

但目前存在的多波長(zhǎng)合束都是腔外合束，存在指向性調(diào)整難度大，合束后整體光束質(zhì)量差，遠(yuǎn)距離光斑重合性差等問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容

為克服上述問(wèn)題或者至少部分地解決上述問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種腔內(nèi)合束多波長(zhǎng)輸出激光器。

一方面，本實(shí)用新型提供了一種多波長(zhǎng)輸出激光器，包括：至少兩個(gè)諧振腔單元，且所述激光器內(nèi)的所有諧振腔單元共用一輸出腔鏡；

所述輸出腔鏡設(shè)置在任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向上；

所述激光器中除所述任一諧振腔單元外的每一諧振腔單元內(nèi)均設(shè)置有波長(zhǎng)合束鏡，所述激光器中的所有波長(zhǎng)合束鏡均設(shè)置在所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向上，每一波長(zhǎng)合束鏡均用于將所處的諧振腔單元內(nèi)的光束與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束進(jìn)行合束，所述合束后的光束傳輸方向與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向重合。

優(yōu)選地，所述激光器中除所述任一諧振腔單元外的每一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向相互垂直。

優(yōu)選地，所述激光器中除所述任一諧振腔單元外的每一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向相互平行；

所述激光器中除所述任一諧振腔單元外的每一諧振腔單元內(nèi)均設(shè)置有與所述波長(zhǎng)合束鏡平行設(shè)置的反射鏡，所述反射鏡用于將所處的諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向調(diào)整至與所述輸出腔鏡平行的方向上；

所述激光器中的所有波長(zhǎng)合束鏡均設(shè)置在所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向上，每一波長(zhǎng)合束鏡均用于將所處的諧振腔單元內(nèi)反射鏡調(diào)整后的光束與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束進(jìn)行合束，所述合束后的光束傳輸方向與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向重合。

優(yōu)選地，所述激光器中除所述任一諧振腔單元外的所有諧振腔單元中，至少有一個(gè)諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向相互垂直，且至少有一個(gè)諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向相互平行；

在內(nèi)部的光束傳輸方向與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向相互平行的諧振腔單元內(nèi)設(shè)置有反射鏡，所述反射鏡用于將所處的諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向調(diào)整至與所述輸出腔鏡平行的方向上；

所述激光器中的所有波長(zhǎng)合束鏡均設(shè)置在所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向上，波長(zhǎng)合束鏡用于將所處的諧振腔單元內(nèi)的光束與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束進(jìn)行合束，或者用于將所處的諧振腔單元內(nèi)反射鏡調(diào)整后的光束與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束進(jìn)行合束，所述合束后的光束傳輸方向與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向重合。

優(yōu)選地，所述激光器中除所述任一諧振腔單元外的每一諧振腔單元內(nèi)的反射鏡與所述任一諧振腔單元內(nèi)的光束傳輸方向成45度夾角。