[實用新型]一種蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置

有效

• 申請號: 201721904279.1
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207685343U
• 公開（公告）日: 2018-08-03
• 發明（設計）人: 張躍飛;程曉鵬;桑利軍;唐亮
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;C23C16/505
• 代理公司: 北京高沃律師事務所 11569
• 代理人: 王加貴

1.一種蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：包括載氣系統、前驅體系統、反應系統和控制系統；所述反應系統通過管路分別與載氣系統和前驅體系統連接，所述反應系統上設置有進樣倉，所述管路上設置有閥門；所述載氣系統用于填充惰性氣體，所述控制系統控制所述載氣系統、前驅體系統和反應系統的開閉。

2.根據權利要求1所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述反應系統包括真空反應腔，所述真空反應腔通過管路分別與載氣系統和前驅體系統連接，所述進樣倉設置于所述真空反應腔上；所述真空反應腔外設置有加熱爐，所述真空反應腔連接有真空泵，所述真空反應腔側壁上開設有放氣口，所述放氣口處安裝有手動放氣閥。

3.根據權利要求2所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述載氣系統與所述真空反應腔之間的管路上安裝有質量流量控制器，所述質量流量控制器與所述控制系統通過管路連接；所述前驅體系統與所述真空反應腔的連接端位于所述質量流量控制器與所述真空反應腔之間的管路上；所述質量流量控制器、前驅體系統和真空反應腔連接交匯處設置有三通氣動閥。

4.根據權利要求3所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述前驅體系統包括前驅體源瓶，所述質量流量控制器與所述前驅體源瓶通過管路連接；所述前驅體源瓶、質量流量控制器和真空反應腔通過三通氣動閥連接。

5.根據權利要求4所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述前驅體源瓶包括并列設置且分別通過管路與所述真空反應腔連接的第一前驅體源瓶、第二前驅體源瓶、第三前驅體源瓶和第四前驅體源瓶，所述第一前驅體源瓶、第二前驅體源瓶、第三前驅體源瓶和第四前驅體源瓶開口處分別設置有源瓶手動閥。

6.根據權利要求5所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述質量流量控制器包括并列設置且分別與所述第一前驅體源瓶、第二前驅體源瓶、第三前驅體源瓶和第四前驅體源瓶相對應的第一質量流量控制器、第二質量流量控制器、第三質量流量控制器和第四質量流量控制器；所述第一質量流量控制器、第二質量流量控制器、第三質量流量控制器和第四質量流量控制器分別通過管路與所述真空反應腔連接。

7.根據權利要求6所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述加熱爐為管式加熱爐，所述管式加熱爐內徑為100-200mm。

8.根據權利要求7所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述真空泵為真空機械泵，所述真空機械泵的抽速為5L/S-100L/S。

9.根據權利要求8所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述載氣系統包括惰性氣體鋼瓶，所述惰性氣體鋼瓶出口端安裝有鋼瓶手動閥，所述惰性氣體鋼瓶通過管路分別與所述第一質量流量控制器、第二質量流量控制器、第三質量流量控制器和第四質量流量控制器連接。

10.根據權利要求9所述的蜂窩狀載體表面原子層涂層裝置，其特征在于：所述真空反應腔連接有勵磁線圈和射頻電源。