[實用新型]非晶合金激光低溫拋光系統

有效

• 申請號: 201721898299.2
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207735764U
• 公開（公告）日: 2018-08-17
• 發明（設計）人: 翟會陽;趙海;柳先鋒;李定春;鐘偉
• 申請（專利權）人: 上海馳聲新材料有限公司
• 主分類號: B23K26/00
• 分類號: B23K26/00;B23K26/03
• 代理公司: 上海伯瑞杰知識產權代理有限公司 31227
• 代理人: 吳澤群

1.一種非晶合金激光低溫拋光系統，其特征在于，包括一加工箱室、一夾裝平臺、一激光發射機構、一激光傳動平臺、一面型檢測反饋機構和一控制端，所述激光發射機構與所述激光傳動平臺傳動連接地設置于所述加工箱室內；所述夾裝平臺設置于所述加工箱室內并固定于所述激光發射機構的下方；所述面型檢測反饋機構連接所述加工箱室并位于所述夾裝平臺的上方；所述激光傳動平臺、所述面型檢測反饋機構和所述激光發射機構分別連接所述控制端；所述激光發射機構可發射YAG激光和ArF準分子激光。

2.根據權利要求1所述的非晶合金激光低溫拋光系統，其特征在于，所述激光發射機構包括一YAG激光發射裝置和一ArF準分子激光發射裝置。

3.根據權利要求1所述的非晶合金激光低溫拋光系統，其特征在于，所述激光傳動平臺包括一三維傳動平臺。

4.根據權利要求3所述的非晶合金激光低溫拋光系統，其特征在于，所述三維傳動平臺包括一第一方向傳動機構、一第二方向傳動機構、一升降機構和一固定座；所述激光發射機構固定于所述固定座，所述固定座可沿所述第一方向往復運動地與所述第一方向傳動機構傳動連接，所述固定座可沿所述第二方向往復運動地與所述第二方向傳動機構傳動連接，所述固定座可沿豎直方向往復運動地與所述升降機構傳動連接。

5.根據權利要求1～4任一項所述的非晶合金激光低溫拋光系統，其特征在于，還包括一光束均勻器，所述光束均勻器連接所述激光發射機構。

6.根據權利要求5所述的非晶合金激光低溫拋光系統，其特征在于，還包括一抽塵裝置和一管道，所述抽塵裝置通過所述管道與所述加工箱室連通。