[實用新型]一種三T型OLED蒸鍍線源有效
| 申請號: | 201721897783.3 | 申請日: | 2017-12-29 |
| 公開(公告)號: | CN207699656U | 公開(公告)日: | 2018-08-07 |
| 發明(設計)人: | 林文晶;彭勃 | 申請(專利權)人: | 上海升翕光電科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C14/12 | 分類號: | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司: | 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙) 22210 | 代理人: | 南小平 |
| 地址: | 201506 上海市金*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 線源 蒸鍍 氣流平衡管 坩堝 本實用新型 噴嘴 等間距設置 噴嘴排列 有機材料 密封 | ||
1.一種三T型OLED蒸鍍線源,其特征在于,包括:
三個坩堝(3),其等間距設置成一排,內部分別裝有蒸鍍有機材料;
三個氣流平衡管(4),每個氣流平衡管(4)分別與一個坩堝(3)相連;每個氣流平衡管(4)的頂部分別設有多個噴嘴(1),所有的所述噴嘴(1)排列為一排。
2.根據權利要求1所述的三T型OLED蒸鍍線源,其特征在于,中間的氣流平衡管(4)上的多個噴嘴(1)的間距大于兩側的氣流平衡管(4)上的多個噴嘴(1)的間距。
3.根據權利要求1所述的三T型OLED蒸鍍線源,其特征在于,每個所述氣流平衡管(4)的外圍設有平衡管加熱絲(6)。
4.根據權利要求1所述的三T型OLED蒸鍍線源,其特征在于,每個所述噴嘴(1)的外圍設有噴嘴加熱絲(7)。
5.根據權利要求1所述的三T型OLED蒸鍍線源,其特征在于,每個所述坩堝(3)的外圍設有坩堝加熱絲(5)。
6.根據權利要求1-5中的任意一項所述的三T型OLED蒸鍍線源,其特征在于,每個所述氣流平衡管(4)的中部設有與所述坩堝(3)的頂端相連的豎直管狀結構。
7.根據權利要求6所述的三T型OLED蒸鍍線源,其特征在于,所述豎直管狀結構的直徑大于所述坩堝(3)的直徑。
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