[實用新型]一種單晶爐用新型坩堝驅動裝置有效
| 申請號： | 201721895000.8 | 申請日： | 2017-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN207738888U | 公開（公告）日： | 2018-08-17 |
| 發明（設計）人： | 王志磊 | 申請（專利權）人： | 晶創銘盛電子科技（香河）有限公司 |
| 主分類號： | C30B15/10 | 分類號： | C30B15/10 |
| 代理公司： | 北京易正達專利代理有限公司 11518 | 代理人： | 趙白 |
| 地址： | 065000 河北省廊坊市*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 坩堝軸 支架 滾珠絲杠 升降驅動組件 旋轉驅動組件 蝸輪減速器 直線導軌 坩堝驅動裝置 升降 電機 驅動連接 單晶爐 聯軸器 底座 本實用新型 平穩升降 豎直 | ||
1.一種單晶爐用新型坩堝驅動裝置，包括底座、旋轉驅動組件、升降驅動組件和坩堝軸組件，所述底座上豎直設有支架，所述支架上設置有坩堝軸支架，所述升降驅動組件設置在支架上，所述旋轉驅動組件和坩堝軸組件均設置在坩堝軸支架上，所述旋轉驅動組件驅動連接坩堝軸組件，帶動坩堝軸組件旋轉，其特征在于：所述升降驅動組件包括升降微步步進電機、聯軸器、蝸輪減速器、滾珠絲杠、直線導軌，所述滾珠絲杠和直線導軌均固定在支架上，所述直線導軌設置在滾珠絲杠兩側，所述升降微步步進電機設置在支架下方，所述升降微步步進電機通過聯軸器與蝸輪減速器連接，所述蝸輪減速器驅動連接滾珠絲杠，所述滾珠絲杠連接坩堝軸組件，帶動坩堝軸組件平穩升降。
2.根據權利要求1所述的單晶爐用新型坩堝驅動裝置，其特征在于：所述坩堝軸組件包括坩堝軸、波紋管和坩堝軸軸承座，所述坩堝軸固定設置在坩堝軸支架上，所述坩堝軸外圍套裝有波紋管，所述波紋管下部外圍套裝有坩堝軸軸承座。
3.根據權利要求1所述的單晶爐用新型坩堝驅動裝置，其特征在于：所述旋轉驅動組件包括旋轉電機、行星減速器和同步帶輪，所述同步帶輪設置在坩堝軸組件下方，所述坩堝軸支架上設有通孔，所述旋轉電機貫穿通孔，所述旋轉電機通過行星減速器驅動連接同步帶輪，所述同步帶輪驅動連接坩堝軸。
4.根據權利要求1所述的單晶爐用新型坩堝驅動裝置，其特征在于：所述支架上下兩端分別設有上限位行程開關座和下限位行程開關座，所述上限位行程開關座和下限位行程開關座上分別裝有限位行程開關。
5.根據權利要求1所述的單晶爐用新型坩堝驅動裝置，其特征在于：所述直線導軌上設有可滑動的滑塊，所述坩堝軸支架背部設有與滾珠絲杠相對應的絲杠螺母，所述坩堝軸支架通過滑塊與直線導軌滑動連接，所述坩堝軸支架通過絲杠螺母與滾珠絲杠螺紋連接。
6.根據權利要求1所述的單晶爐用新型坩堝驅動裝置，其特征在于：所述支架與底座之間固定設有兩道斜支撐，所述斜支撐對稱設置在坩堝軸組件兩側。
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