[實用新型]LTCC超快加工系統

有效

• 申請號: 201721888639.3
• 申請日: 2017-12-29
• 公開（公告）號: CN207746571U
• 公開（公告）日: 2018-08-21
• 發明（設計）人: 趙裕興;吳安定
• 申請（專利權）人: 蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設備有限公司
• 主分類號: B23K26/382
• 分類號: B23K26/382;B23K26/062;B23K26/70
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 王玉國

1.LTCC超快加工系統，其特征在于：依光路方向設置有：

激光器(A)，輸出光束；

第一反射單元，包含依光路方向布置的第一反射鏡(C1)，將從激光器(A)輸出的光束射入光束整形模組(B)；

光束整形模組(B)，對光束進行擴束并改變擴束光斑的大小，且對擴束之后激光光束進行過濾；

衰減模組(D)，改變整形后激光光束的偏振態并將入射光分成平行方向和垂直方向的兩束光，包含偏振玻片(D1)和偏光立方體分光器(D2)，偏振玻片(D1)位于偏光立方體分光器(D2)入射光口，偏振玻片(D1)改變入射光束的偏振態，調節光束中P偏光與S偏光的比例，偏光立方體分光器(D2)根據光的偏振態將光分成兩個互相垂直的方向出射，P偏光從平行方向出射，S偏光從垂直方向出射；

第二反射單元，包含依分光之后的水平光路方向依次布置的第二反射鏡(C2)、第三反射鏡(C3)和第四反射鏡(C4)，將分光后的水平方向光入射至第一掃描單元；

第一掃描單元，將第二反射單元反射的光束進行聚焦，包含依光路方向依次布置的振鏡(E1)和場鏡(F1)，分光后的水平方向的P偏光光經第二反射單元射到振鏡(E1)的鏡片上，由場鏡(F1)聚焦至加工對象上；

第三反射單元，包含依分光之后的垂直光路方向依次布置的第五反射鏡(C5)和第六反射鏡(C6)，將分光后的垂直方向的S偏光入射至第二掃描單元；

第二掃描單元，將第三反射單元反射的光束進行聚焦，包含依光路方向依次布置的振鏡(E2)和場鏡(F2)，分光后的垂直方向光經第三反射單元射到振鏡(E2)的鏡片上，由場鏡(F2)聚焦至加工對象上；

加工平臺(G)，用于放置加工材料。

2.根據權利要求1所述的LTCC超快加工系統，其特征在于：所述激光器(A)為窄脈寬超快皮秒激光器。

3.根據權利要求1或2所述的LTCC超快加工系統，其特征在于：所述激光器(A)出射端光路上設有控制開關光的光閘。

4.根據權利要求1所述的LTCC超快加工系統，其特征在于：所述光束整形模組(B)包含擴束鏡(B1)和濾光片(B2)，擴束鏡(B1)采用反向放置布置于光路上，對光束進行擴束并改變擴束光斑的大小，濾光片(B2)布置于擴束鏡(B1)之后，對擴束之后激光光束進行過濾。

5.根據權利要求1所述的LTCC超快加工系統，其特征在于：所述第一掃描單元的振鏡(E1)為入光口孔徑14mm的振鏡。

6.根據權利要求1所述的LTCC超快加工系統，其特征在于：所述第二掃描單元的振鏡(E2)為入光口孔徑14mm的振鏡。