[實用新型]一種微米級石英薄膜制備裝置

有效

• 申請號: 201721886514.7
• 申請日: 2017-12-28
• 公開（公告）號: CN207845482U
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 許金山;王義平;何俊
• 申請（專利權）人: 深圳市光子傳感技術有限公司
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00;G01B11/06
• 代理公司: 深圳市恒申知識產權事務所(普通合伙) 44312
• 代理人: 王利彬

1.一種微米級石英薄膜制備裝置，其特征在于，所述制備裝置包括：壓力裝置、石英管、頂端加熱裝置、運動控制裝置、光耦合裝置、光源裝置及光譜采集裝置；

所述壓力裝置與所述石英管的第一端相連接，所述石英管的第二端置于所述頂端加熱裝置內，所述頂端加熱裝置用于向所述石英管的第二端進行加熱處理，使所述石英管的第二端受熱熔融封閉，所述壓力裝置向第二端受熱熔融封閉的石英管的第一端進行加壓處理，同時所述頂端加熱裝置向石英管的受熱熔融封閉的一端進行加熱處理，形成包含球形薄膜結構的石英管；

所述運動控制裝置的第一端與包含球形薄膜結構的石英管的側端夾持連接，所述運動控制裝置的第二端與所述光耦合裝置的第一端夾持連接，所述運動控制裝置用于控制包含球形薄膜結構的石英管的側端與所述光耦合裝置的第一端水平對齊，以形成法布里-珀羅干涉儀，其中，所述側端為球形薄膜結構的頂端，所述法布里-珀羅干涉儀包括所述側端、所述光耦合裝置的第一端、及之間的立體空間；

所述光耦合裝置的第二端與所述光源裝置相連接，所述光耦合裝置的第三端與所述光譜采集裝置相連接，所述光源裝置向所述光耦合裝置發射光源，所述光源經過所述光耦合裝置的第二端導入所述法布里-珀羅干涉儀內，在被所述側端的薄膜反射后，形成光譜，所述光譜返回所述光耦合裝置內，并經過所述光耦合裝置的第三端傳送至所述光譜采集裝置，所述光譜采集裝置對所述光譜進行分析處理，確定所述側端的薄膜的厚度，將滿足預設厚度條件的側端的薄膜確定為所述微米級石英薄膜。

2.根據權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述壓力裝置包括雙通道微量注射泵及注射器，所述雙通道微量注射泵置于所述注射器內，所述雙通道微量注射泵用于對所述注射器施加壓力。

3.根據權利要求2所述的制備裝置，其特征在于，使用紫外固化膠將所述石英管的第一端與所述注射器的注射口密封連接。

4.根據權利要求1所述的制備裝置，其特征在于，所述石英管的內徑為10um～800um，所述石英管的外徑為100um～1000um。