[實用新型]一種太陽能電池硅片表面制絨切割裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201721873757.7 | 申請日： | 2017-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN207611745U | 公開（公告）日： | 2018-07-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 謝毅;白云平;李雪鋒 | 申請（專利權(quán)）人： | 通威太陽能（成都）有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/3063 | 分類號： | H01L21/3063;H01L31/18 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230 | 代理人： | 李小金 |
| 地址： | 610225 四川省成都市雙流*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 本實用新型 張緊滾輪 線鋸 太陽能電池硅片 絲線 表面制絨 夾持裝置 切割裝置 電解池 陽極板 制絨 太陽能電池生產(chǎn) 一體化裝置 太陽能電池 電解體系 硅片切割 互相平行 切割過程 伺服電機 工作液 陰極夾 硅片 電解 纏繞 切割 | ||
1.一種太陽能電池硅片表面制絨切割裝置，包括線鋸(7)，其特征在于：還包括電解池(1)，電解池(1)底部設(shè)置有陽極板(3)，陽極板(3)上方設(shè)置有四個互相平行且排列成矩形的張緊滾輪Ⅰ(5)，線鋸(7)纏繞在四個張緊滾輪Ⅰ(5)上，線鋸(7)的兩端分別連接有陰極夾(10)；四個張緊滾輪Ⅰ(5)的兩側(cè)均設(shè)置有夾持裝置(6)，夾持裝置(6)的上方設(shè)置有伺服電機。
2.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片表面制絨切割裝置，其特征在于：線鋸(7)在四個張緊滾輪Ⅰ(5)纏繞多圈，各圈線鋸(7)之間等距設(shè)置。
3.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片表面制絨切割裝置，其特征在于：陰極夾(10)的位置高于張緊滾輪Ⅰ(5),陰極夾(10)和張緊滾輪Ⅰ(5)之間設(shè)置有張緊滾輪Ⅱ(9)，張緊滾輪Ⅱ(9)上部與陰極夾(10)位于相同的高度上。
4.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片表面制絨切割裝置，其特征在于：所述線鋸(7)為金剛石絲線，所述金剛石絲線為表面固結(jié)有金剛絲的鉬絲或鎢絲。
5.按照權(quán)利要求4所述的太陽能電池硅片表面制絨切割裝置，其特征在于：還包括兩個卷絲輪(11)，所述線鋸(7)和陰極夾(10)之間通過金屬絲(8)連接，所述金屬絲(8)的末端纏繞在卷絲輪(11)上。
6.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片表面制絨切割裝置，其特征在于：所述陽極板(3)外圍設(shè)置有夾具(2)，夾具(2)連接有超聲振動裝置。
7.按照權(quán)利要求1所述的太陽能電池硅片表面制絨切割裝置，其特征在于：所述電解池(1)外圍設(shè)置有控溫夾層(12)。
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H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
