[實用新型]透明脆性材料加工設備

有效

• 申請號: 201721865705.5
• 申請日: 2017-12-27
• 公開（公告）號: CN207873412U
• 公開（公告）日: 2018-09-18
• 發明（設計）人: 周云申;沈丹鴻;周蕊
• 申請（專利權）人: 常州英諾激光科技有限公司;江蘇微納激光應用技術研究院有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/402;B23K26/06;B23K26/70
• 代理公司: 深圳市精英專利事務所 44242
• 代理人: 張慧

1.一種透明脆性材料加工設備，其特征在于：包括控制模塊、激光切割模塊、超聲聚焦模塊和加工平臺，所述激光切割模塊包括激光發生器，及沿激光光路方向依次設置的激光整形單元、激光指向傳輸單元、激光掃描單元和激光聚焦單元，所述加工平臺設置于激光聚焦單元的下方，所述超聲聚焦模塊與所述激光聚焦單元共軸設置，所述加工平臺可多軸自由運動，所述控制模塊用于控制激光切割模塊和超聲聚焦模塊工作狀態及加工平臺的位移。

2.如權利要求1所述的透明脆性材料加工設備，其特征在于：所述超聲聚焦模塊與所述激光聚焦單元的焦點重合。

3.如權利要求2所述的透明脆性材料加工設備，其特征在于：所述加工平臺的上面設有加工槽，所述加工槽內設有材料固定機構。

4.如權利要求3所述的透明脆性材料加工設備，其特征在于：所述加工槽內灌有液體，所述液體為水或油。

5.如權利要求4所述的透明脆性材料加工設備，其特征在于：還包括自適應平臺，所述激光切割模塊的激光聚焦單元和所述超聲聚焦模塊均設置于所述自適應平臺，所述自適應平臺由所述控制模塊控制可沿豎直方向運動。

6.如權利要求5所述的透明脆性材料加工設備，其特征在于：所述激光發生器產生的激光波長為0.2-11.4μm。

7.如權利要求6所述的透明脆性材料加工設備，其特征在于：所述激光發生器產生的激光的脈沖寬度為皮秒級或飛秒級。

8.如權利要求7所述的透明脆性材料加工設備，其特征在于：所述超聲聚焦模塊為高強度聚焦超聲系統，所述高強度聚焦超聲系統產生的超聲波頻率為18KHz-10MHz。

9.如權利要求8所述的透明脆性材料加工設備，其特征在于：所述高強度聚焦超聲系統產生的超聲波頻率與透明脆性材料的共振頻率適配。